中古 KLA / TENCOR 0116358-001-REV A #9292424 を販売中

KLA/TENCOR 0116358-001-REV Aは、高い品質基準を費用対効果の高い方法で満たすように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高度な光学検査ヘッド、ソフトウェア制御ウェハおよびレチクルハンドリングユニット、統合解釈評価機など、いくつかのコンポーネントで構成されています。光学検査ヘッドは、ブライトフィールドとダークフィールドの両方の照明を使用し、半導体ウェーハと回路パターン層の両方の詳細な視覚分析を提供します。画像を高解像度のCCDカメラで撮影し、特殊な検査アルゴリズムで解析して欠陥を全面的に検出します。さらに、85mmの超高感度レンズは、わずかな欠陥でも素早く検出することができます。ウェーハとレチクルのハンドリングツールには、ウェーハやレチクルを正確に移動するためのフル機能のワークステーションと、単一のウェーハと複数のウェーハ間での均一性のための位置スキャン動作が含まれています。これにより、ウェーハとレチクルのすべての部品が正確かつ効率的に検査されます。最後に、アセットには統合された解釈評価モデルが含まれます。これにより、検査結果を確認し、詳細な出力レポートを生成するためのユーザーフレンドリーなインターフェイスが提供されます。これにより、問題の特定と修正が容易になり、高いレベルの品質が一貫して達成されるようになります。要約すると、KLA 0116358-001-REV Aは、半導体ウェーハと回路パターン層の両方の詳細な視覚分析のための明るいフィールドとダークフィールド照明を利用した高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。精密位置決め・取扱いシステムと、検査結果を簡単に見直し、欠陥を迅速かつコスト効率よく特定・是正するための統合解釈評価ユニットを備えています。