中古 KLA / ICOS CI-T130 #9202297 を販売中

KLA/ICOS CI-T130は、マスクおよびウェーハ検査装置です。集積回路の感光性マスク、ウェーハ、テープを単一の自動プラットフォームで検査するように設計されています。このシステムは、高いスループット、卓越した精度、卓越した再現性、優れた欠陥検出、およびこれらの表面の欠陥を迅速に識別および判別する機能を備えています。KLA CI-T130のコア技術は、統合検査エンジンです。これは、さまざまな電気イメージング、物理イメージング、および光学イメージング技術を組み合わせて、検出されない可能性のある欠陥を検出して特徴付けします。オンボードの光学顕微鏡は、高解像度の検査とイメージング機能を提供します。このユニットは、マスクやウェーハに存在する特徴のパターンやサイズの微妙な違いを検出するために、特徴エッジに焦点を当てるソリッドステートレーザーを使用しています。また、最新のソフトウェア、アルゴリズム、欠陥検査、解析、修正をサポートするツールも搭載しています。柔軟な検査モードを備えているため、個々のワークフローに合わせて検査を簡単にプログラムおよびカスタマイズできます。また、高スループットが可能で、1時間あたり800以上のウェーハまたはマスクを処理できます。ICOS CI-T130は、独自の欠陥レビュー技術を使用して、誤報からエラーを検出するのに役立ちます。この技術は、ウェーハまたはマスクの欠陥画像を分析し、従来の欠陥が近くにあっても、欠陥を迅速に特定して特定します。これにより、生産の精度に不可欠な最小の欠陥でも識別することができます。また、修理やデバッグ作業を支援するための自動欠陥エンジニアリングツール、エンジニアリング情報の提供も含まれています。このツールは、KLA予測分析および潜在的な欠陥を特定するためのその他の高度な検出機能によってさらにサポートされています。それは、それらが迅速かつ正確に識別されることを確認する欠陥を特徴付けるための高度なデジタルアルゴリズムとツールが含まれています。また、生産プロセスを最適化するために、ウェーハパラメータを測定および分析する高度な計測サービスを提供することもできます。全体として、CI-T130は業界をリードするマスクおよびウェーハ検査資産であり、生産効率と歩留まりの最大化を支援します。その高度な検査エンジン、柔軟な検査モード、欠陥レビュー技術により、業界トップクラスの精度と再現性を保証します。また、生産プロセスを最適化するための強力な分析および計測機能も提供します。