中古 KLA / ICOS CI-T130 #293828078 を販売中

KLA/ICOS CI-T130は、ブライトフィールドイメージングに基づいた自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、390mm x 520mmの視野を持ち、フォトマスクやウェーハの広範囲の検査に最適です。KLA CI-T130は、高度な画像処理と顧客固有のアルゴリズムを採用しながら、高解像度のCCDカメラとLED光源を搭載しています。Thesystemは完全に自動化された方法で2-3 umの正確さのフォトマスクおよびウェーハの表面の欠陥を検出し、視覚化することができます。このソフトウェアは、信号とノイズ比4：1の欠陥を正確に3D測定することができます。ユーザーフレンドリーな3Dグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、検出しきい値や自動画像解析などの検査パラメータをカスタマイズできます。ユーザーは、最適化された結果を得るために、ウェーハのさまざまな領域に、ゲインなどのさまざまなカメラ設定を割り当てることもできます。ウェーハの場合、金属欠陥検査を介して欠損や誤った極性欠陥を検出し、多欠陥検査を介して欠損または余分を検出することができます。さらに、接触開口部とショートパンツ、壊れた石版線、ブリッジフィレットを検出することができます。このツールのスクラッチ/プリントカラー測定は、鉱物汚染物質と有機汚染物質を区別し、汚れや周囲汚染物質を測定することができます。その他の特徴としては、光場、IR検査、特徴破砕、コーティング、表面応力、汚染カバレッジ測定などがあります。ICOS CI-T130は、従来のインライン洗浄プロセスから脱出した落下粒子、傷、その他の不純物を検出するために設計された清浄度検査機能を提供します。このアセットは、絶対に厳しい許容範囲と線幅の測定を提供するだけでなく、重要なフィーチャー領域の完全なサブミクロン地形も提供します。材料の分類はCI-T130でも可能です。このモデルのスムーズで信頼性の高い操作により、マスクやウェーハの検査に最適で、ジョブのサイズや複雑さに関係なく最適な結果を保証します。その直感的なユーザーインターフェイスは、初心者と経験豊富な技術者の両方に適しています。KLA/ICOS CI-T130によって、KLAは正確で使いやすい強力なマスクおよびウェーハ検査装置を作成しました。