中古 KLA / ICOS CI-T120 #9360928 を販売中

KLA/ICOS CI-T120は、信頼性の高い完全な検査ソリューションを提供するマスクおよびウェハ検査装置です。システムにはXYステージが内蔵されており、ユニット内にウェーハまたはマスクを配置する際の精密制御が可能です。この機械は、大面積および微細イメージングに最適化された2D検査光学ツールを使用しています。光学アセットは、高精度の電動XYステージ、テレセントリック固定焦点距離光学レンズ、およびLinescanまたはCCDカメラで構成されています。視野および焦点の深さは調節可能であり、さまざまな特徴および厚さを有するウェーハまたはマスクの最適な画像取得を可能にします。このモデルには、照明制御装置、プリンタ/プロッタ、イメージプロセッサ、および画像解析ユニットを駆動するための電源が装備されています。照明システムは、視野全体の均一な輝度を確保し、不均一性を排除するように設計されているため、画質が向上し、欠陥が検出されます。プリンタ/プロッタを使用すると、パスプログラムファイルをロードでき、イメージをレビュー用に印刷できます。イメージプロセッサを使用すると、しきい値やグレースケール、コントラスト、倍率などのパラメータを調整できます。統合されたイメージライブラリを備えており、検査画像と参照画像を比較して任意の偏差を検出できます。画像解析ユニットは、欠陥の識別と測定を含む自動欠陥検出を可能にします。このユニットは検出感度が高く、in-specificationとout-of-specificationの両方の欠陥を検出できます。また、効率的な欠陥管理マシンを備えており、オペレータは欠陥を確認して分類することができます。KLA CI T120は、高精度と高解像度を提供する信頼性の高い包括的なマスクおよびウェーハ検査ツールです。非次元と寸法の両方の特徴を検出して測定するように設計されており、特定のアプリケーションに簡単にカスタマイズできます。堅牢なアーキテクチャにより、欠陥検出および測定アプリケーションに理想的な資産となります。