中古 KLA / ICOS CI-T120 #9312491 を販売中

KLA/ICOS CI-T120は、スカイタイプの自動マスクおよびウェーハ検査装置の目です。この高性能検査システムは、次世代金型検査ソリューションの効率的なインライン生産と迅速な実装を可能にします。KLA CI T120は、ビジョンマシンとは独立して動作する独自のモーションコントロールユニットを備えた自動5軸x/y/z/回転/傾斜ステージで構成されています。このモーションコントロールツールは、半導体ウェーハの迅速なスキャンを可能にし、複数のダイ検査、アライメント、ポスト検査の品質管理を可能にします。ICOS CI T-120は、独自の高度なパターン認識と5-AXIS顕微鏡ステージを利用して、2D、 3D、ステップ機能の検査を行います。KLA CI T-120は、ベアおよびパターン化された半導体ウェーハの両方の欠陥を同時に検査するように設計されています。KLA CI-T120は、UV照明と最新のイメージング技術Mega-Coreイメージセンサで構成可能で、イメージング結果を向上させます。このアセットはまた、同時検査のための2つの完全解像度カメラをサポートしています。KLA/ICOS CI T-120には、高度な超高精度のミスアライメントアライメントコントロールが装備されており、パッド間でのフィーチャーとフィーチャーの自動アライメントと登録が可能です。この安定したモデルはまた、繰り返しパターンの登録に完全な柔軟性を可能にします。CI-T120は、電圧制限、オープンショート、オープンソース、ライン幅、パターンのずれなど、パターンと欠陥を検査および測定することができます。高度なイメージングおよび独自の検査アルゴリズムは、非接触、ラインフィル、ライン交差、電圧制限、格子およびハロー構造などのさまざまなパターンを識別することもできます。装置は、基準登録マーカーだけでなく、欠陥の高精度および低精度を測定することができ、視野は最大キャプチャと精度のために調整することができます。ICOS CI T120の柔軟なソフトウェアプラットフォームは、統合と操作を容易にし、検査と報告ツールの完全なスイートをユーザーに提供します。オペレーティングシステムソフトウェアは、組込みマルチプロセッサユニットから直接実行できます。グラフィカルユーザーインターフェイスとタッチスクリーンへのアクセスを提供することで、ユーザー制御がさらに合理化されます。ソフトウェアには、ユニットを特定の要求にカスタマイズするためのさまざまな機能と制御オプションも含まれています。CI T-120は24時間年中無休で動作するように設計されており、自動化されたマスクおよびウェーハ検査のための効率的でエラーのないソリューションを提供します。10ミクロンの最大動作精度とサブミクロンのZ軸制御により、重要なダイレベル機能のためのクリーンで正確なパスまたはフェイルグレードが保証されます。このマシンは、半導体メーカーにとって信頼性が高く使いやすいソリューションであり、デバイス生産を成功させるためのスループットと品質を最大化するように設計されています。