中古 KLA / ICOS CI-T120 #9246691 を販売中

KLA/ICOS CI-T120は、リソグラフィープロセス制御用に設計された洗練されたマスク&ウェーハ検査装置です。部品の歩留まり、品質、コスト管理を改善するための重要な計測データを提供します。KLA CI T120は、マスクデータ、レチクル、個々のフィールド、およびウェハレベルパターンをさまざまなプロセス層で分析できる、最先端の自動マスクおよびウェハ検査ツールです。この包括的なシステムは、0。25から0。45 μ mの解像度で製造された1xおよび2xレチクルを含むファブで使用されるさまざまな基板を考慮に入れています。独自の高度なアルゴリズムを使用して、ICOS CI T-120を使用すると、欠陥、欠陥、設計された要素とそのサイズ、ピッチ、光密度、幾何学的パラメータ、ソースタイプ、およびその他の関連パラメータを比較して、従来の光学レベルの検査を行うことができます。KLA CI-T120は、高速かつ正確な光学検査機能に加えて、重要なプロセスチェックに加えて、重複、エッジ配置、はんだマスク、登録などの高度な機能も提供しています。このユニットを使用すると、キャリブレーションで改善できるプロセス内の問題をすばやく特定して特定することもできます。KLA/ICOS CI T-120は、プロセスのバリエーションや基板の違いにも非常に耐性があり、0。001％以下の非常に低い濃度でプロセスのバリエーションを識別することができます。また、0。1ミクロン程度の欠陥検出が可能で、幅広いレポート機能を備えています。CI T120は、費用対効果が高く信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査資産をお探しの方に最適なツールです。堅牢なプロセス制御により、ユーザーは歩留まりを確実に保つことができ、堅牢な設計により所有コストが低く、柔軟な検査機能により投資収益率が大幅に向上します。