中古 KLA / ICOS CI-T120 #9221136 を販売中

KLA/ICOS CI-T120は、レチクルとウェーハ材料の様々な層の欠陥を検出するために設計されたマスク&ウェーハ検査装置です。システムは、材料の明確かつ正確な検査を確実にするために、超高解像度を持っています。レチクルとウェーハの両方で3D地形、反射、伝送、蛍光画像の視覚化を強化します。このユニットには、通常のパターンや機能から潜在的な欠陥を識別するための高度な画像処理ツールが含まれています。レーザービームライターや光学顕微鏡など、さまざまな照明システムや顕微鏡を使用して、正確な空間分解能で多数の画像をキャプチャし、その強度を記録します。これにより、異なる画像（例えば、異なる倍率の画像）の正確な比較と分析が可能になります。また、KLA CI T120は、統合された自動欠陥検査およびレビュー機能を備えており、ユーザーは特定のウエハ上の複数の欠陥を簡単に検査および測定することができます。この機械は、粒子、線、水ぶくれなど、最も一般的に発生するタイプの欠陥を識別することができます。また、表面の形態や層のわずかな変化を検出することもできます。ICOS CI T-120は、毎時200ウェハまでの速度で動作するため、プロセスウィンドウと比較するための検査時間を大幅に短縮できます。さらに、CI-T120には包括的なレポートとデータ分析ツールが付属しています。ユーザー設定可能なレポートにより、ユーザーは問題領域をすばやく特定し、プロセスの品質を向上させることができます。このツールは、プロセスの偏差をよりよく観察するために、さまざまなパラメータのリアルタイム制御と表示を提供します。したがって、KLA CI T-120はウェーハおよびマスク製造にとって非常に貴重なツールであり、製造プロセスの欠陥を迅速に検出して対処することができます。マスクやウエハーの不要または再稼働のコストを削減し、生産時間の短縮に役立ちます。さらに、アセットの高スループット、解像度、自動欠陥検出機能により、今日利用可能な最高の自動マスクおよびウェーハ検査システムの1つになります。