中古 KLA / ICOS CI-T120 #9162541 を販売中

KLA/ICOS CI-T120マスク&ウェハ検査装置は、様々な電子製品で使用される集積回路の製造用に設計されたイメージングツールです。不純物や欠陥に対するマスクやウェーハの迅速かつ非破壊的なスキャンと測定を提供します。このシステムは、高度な計測、欠陥レビュー、およびプロセス制御技術を統合して、信頼性の高い検査と正確な結果を保証します。KLA CI T120は、1時間あたり最大3850ウェーハのスループットを持つ高性能ユニットです。0。5micron以下の小さな欠陥でも検出できるように設計されています。高度な照明およびイメージング技術を使用して、正確な3Dウェーハトポグラフィ測定を提供します。このマシンには、多目的なカラーカメラと連続した360°回転可能な視野を持つ検査ヘッドが含まれています。このツールは自動パーティショニング機能を備えており、各マスク/ウェーハ領域を自動的に認識、識別、ラベル付けし、正確なアライメント、登録、比較を提供します。ミスアライメントと回転欠陥検出の両方をサポートし、分類、レビュー、欠陥カウントを可能にします。また、欠陥の設計とサイズを評価することができ、粒子や粒子クラスターなどの一般的な欠陥を検出することができます。ICOS CI T-120には、Digital Marker Assisted RegistrationやAuto Focusなどの強力なウェーハ測定ツールが含まれており、迅速かつ正確なウェーハ位置を確保します。高度なLED照明を使用して、高精度のイメージングと分析を行います。また、自動追跡により、迅速かつ一貫したウェーハデータの収集、分析、抽出が可能です。さらに、アセットのエレクトロニクスとソフトウェアパッケージは、高速なデータ転送と通信を可能にします。さらに、KLA/ICOS CI T-120モデルは、生産バッチの広い範囲にわたって優れたプロセス一貫性を持ち、信頼性と再現性の高い結果を保証し、簡単な操作とメンテナンスのために設計されています。Equipment Monitor機能は、関連するすべてのプロセスパラメータの詳細なリアルタイム図を提供し、メンテナンスと最適化を容易にします。ユーザーフレンドリーなWorkbenchソフトウェアを使用すると、ユーザーはアイコン、ツール、スクリプト、アクションの動作をカスタマイズして最適化またはプロセス制御を行うことができます。