中古 KLA / ICOS CI-T120 #293662323 を販売中

KLA/ICOS CI-T120は、マスクおよびウェーハ検査装置です。半導体業界では、フォトマスクやwAFERSの欠陥、傷、汚染、その他の光学的不規則性の検査に使用されています。KLA CI T120は、高度な光学、ソフトウェア、カメラ技術を組み合わせたハイエンドの検査システムで、欠陥の検出と修正において業界をリードする精度と精度を提供します。ICOS CI T-120の中心には、フォトマスクやウェーハ検査用に10ミクロン以下の解像度で画像を撮影できる高解像度の2次元カメラがあります。ユニットは、アプリケーションに応じて、検査レンズのセットで構成されています。フォトマスクやwAFERSを検査するための無色透明、マルチフィールド、特殊用途、デフレクタブルレンズなどがあります。CI T-120には、欠陥検出と修正のためのさまざまなソフトウェアが組み込まれています。パターンの歪みを低減するためのソフトウェア、パターン認識を強化するためのソフトウェア、汚染物質や傷を検出するためのソフトウェアが含まれています。KLA CI-T120は、自動検査ステーションでの使用に最適化されています。これは、ロボットアームインターフェース機能を備えており、マスクおよびウェハ検査プロセスを自動化するための異なるロボットアームに検査機を接続することができます。さらに、マルチゾーンイメージングとステッチングにより、異なるゾーン間で画像を整列させることができます。また、マスクとウェーハの自動ビニングも可能です。ユーザーインターフェイス側では、ICOS CI-T120は検査プロセスを制御および監視するための包括的なGUIツールを提供します。GUIにより、測定パラメータの設定、検査結果の監視、検査タスクの全体的な整合性の観察が可能です。また、ユーザーが検査モデルのパフォーマンスを構成および監視し、検査結果のレポートを生成することができる強力な管理資産が含まれています。結論として、KLA/ICOS CI T-120は、マスクおよびウェーハ検査を行うための半導体業界にとって強力なツールです。その先進的な光学系とソフトウェア機能を通じて、最先端のパフォーマンスを提供するように設計されています。CI-T120は、フォトマスクおよびwAFERSの欠陥を検出および修正するためのハイエンドの精度と精度を提供します。ロボットアームとの統合により、検査プロセスを効率的に自動化できます。また、包括的なGUIと管理機器により、プロセス全体を効率的に制御および監視できます。