中古 KLA / ICOS CI 9450 #9397172 を販売中

KLA/ICOS CI 9450マスクおよびウェーハ検査装置は、マスクとウェーハの両方の自動目視検査を行う自動検査システムです。マスクとウェーハの両方の特徴を正確かつ迅速に検出および分析し、欠陥を迅速に特定することができます。KLA CI 9450には、マスクとウェーハの両方の画像を取得するために使用できる4つのデジタルカメラヘッドが装備されています。これらのカメラヘッドは、4ミクロンのピクセルサイズでマスクやウェーハの高解像度画像を取得することができます。さらに、Array Close Proximity Raster Inspection （ACRx）光学ヘッドを搭載し、高精度で高速なイメージングと解析機能を提供します。ICOS CI-9450は、高度な次世代フィールドプログラマブルゲートアレイ（FPGA）技術を使用して、効率的で高精度な画像取得と解析を可能にします。このマシンはマルチビューイメージングも可能で、ウェーハとマスク間の正確なイメージングとアライメントを保証する高度なアライメントツールを備えています。さらに、自動フォーカスと自動欠陥検出が可能です。CI 9450は、マスクとウェーハの両方の欠陥を自動的に検出して分類するように設計されています。これには2つのプロセス制御アルゴリズムがあり、1つ目はEAL （Equal Area Logic）アルゴリズムで、スキャンした画像と黄金の参照画像を比較するように設計されています。2つ目は統計的確率アルゴリズムで、特徴サイズや種類などの統計データを使用して欠陥を特定します。また、KLA CI-9450は高速な画像取得と高速画像解析が可能です。また、幅広いアプリケーションに対応できる自動学習技術を搭載しており、資産の欠陥検出および分類精度を向上させるために使用することができます。全体として、KLA/ICOS CI-9450 Mask and Wafer Inspectionモデルは、マスクとウェーハの両方の特徴を正確かつ迅速に検出および分析できる高度な検査装置です。最新の画像検査技術を搭載し、マスクやウェーハの検査に効率的かつ正確なソリューションを提供します。