中古 KLA / ICOS CI 9450 #9396597 を販売中

KLA/ICOS CI 9450は、半導体製造のために設計された高度で自動化されたマスクおよびウェハ検査装置です。高速画像取得、自動欠陥レビュー、マスク計測などの機能を提供します。このシステムは、最先端の光学技術を使用して、リソグラフィックパターンの正確な測定と高解像度画像を可能にし、ウェハーマスクや完成ウェハの欠陥や不適合を確実に検出する方法を提供します。このユニットは、ウェーハ検査ユニット（WIF）とKLA Correlative Image Acquisition and Review Machine （CIARS）の2つのコンポーネントで構成されています。WIFは、検査対象のマスクまたはウェーハの高解像度画像の取得および処理を担当します。WIFは、ウェーハあたり最大60秒の速度で画像を取得でき、迅速かつ効率的な検査が可能です。多彩なレンズを搭載し、さまざまな視野を捉えることができます。さまざまな画像フォーマットに対応しており、画像の比較が容易です。CIARSコンポーネントは、マスクまたはウェーハのレビューを処理し、独自の欠陥検出アルゴリズムを使用して欠陥と不適合を強調します。このツールは、ルールベースのパターン認識と組み合わせたサブピクセルエッジ検出を使用して、欠陥を検出および分類します。CIARSアセットは、幅広いスコープとアプリケーションに構成でき、構成の柔軟性を実現します。さらに、より広いユーザーベースのために複数の言語をサポートしています。KLA CI 9450は、幅広い機能と利点を提供します。高速な画像取得速度で高解像度の画像処理機能を提供します。また、欠陥レビューとマスク計測機能を自動化し、効率的かつ正確な欠陥スポッティングを可能にします。さらに、カスタマイズ可能な構成を幅広く提供しているため、幅広いアプリケーションやユーザーに適しています。このモデルは使いやすく、維持しやすく、信頼性の高いパフォーマンスとダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。