中古 KLA / ICOS CI 9450 #9363159 を販売中

KLA/ICOS CI 9450マスク&ウェーハ検査装置は、最先端のパターンメディア検査の厳しい品質要件を満たすように設計されています。高解像度の生産グレードのイメージング、自動化されたリアルタイムのシステム修復、および広範な検査機能を提供し、パターンの忠実度、欠陥検出、歩留まり保証を最大限に提供します。高解像度6メガピクセルのフルフレームカメラを搭載し、1µm以上の解像度と1µm以上の測定精度を実現しています。また、リニアモードとマルチビューモードの両方で画像データをキャプチャすることもできます。フィールド交換可能な動的コールドフィールド放射源は、欠陥を検出するための最適な照明を提供し、機械の適応照明技術はコントラスト最適化された結果を保証します。このツールの高度な欠陥検出機能には、欠陥の自動分類と分類、欠陥の補助分類、偽陽性の緩和、およびプロセス制御が含まれます。0.8µmより大きい欠陥から500nm未満の超小型欠陥まで、幅広い欠陥をレビューできます。KLA CI 9450には、高効率のグローバル・コーディネート・アライメント・ツールと自動化された資産修復機能が搭載されており、検査時間の無駄を減らし、歩留まりを向上させます。このモデルには、検査結果を表示、分析、管理するための包括的なダッシュボードUIが含まれています。すべての検査の完全なトレーサビリティも提供され、リソグラフィ工程の変更と検査条件と結果の検証を迅速に評価できます。さらに、この機器は強力なレポートインターフェイスと統合されており、製造性解析の設計をより効率的に行うことができます。ICOS CI-9450は高速リモートアクセスを提供し、システムのCalibrated Measurements Optionは欠陥測定の正確さと信頼性を検証します。また、オートフォーカス、ウェーハフラット自動検出、レベルメモリ機能など、幅広いソフトウェア機能を提供しています。CORE Machineソフトウェアプラットフォームは、詳細で直感的なユーザーエクスペリエンスを提供し、パターンメディア検査に最適なツールです。