中古 KLA / ICOS CI 9450 #9363158 を販売中

KLA/ICOS CI 9450は、半導体業界において優れたウェーハおよびマスク検査機能を提供するハイエンドの自動マスクおよびウェーハ検査装置です。システムは、マスク検査装置（MIS）、ウェーハ検査装置（WIS）、コンピュータ統合ツール（CIS）の3つのコアコンポーネントで構成されています。KLA CI 9450は、マスクおよびウェーハ検査の精度と速度を提供するように設計されており、エンドユーザーに検査プロセスを完全に制御することができます。Mask Inspection Asset （MIS）は、モノクロ画像取得、光学歪み補正、波面解析を特徴とする光学モデルです。この装置は、マスク表面の欠陥や汚染を検出するために使用されます。ウェーハ検査システム（WIS）は、精密リソグラフィーモジュール、光学ユニット、画像補正ソフトウェアパッケージで構成され、信頼性の高いウェーハ表面検査および画像取得機能を提供します。WISは、ウェーハ表面の欠陥や汚染を検出するために使用されます。最後に、CIS （Computer Integrated Machine）は、すべての検査システムを制御し、ワークフローを制御し、ウェーハとマスクデータを管理するためのコンピュータツールです。ICOS CI-9450は、最先端の明るいフィールド・イメージングや差動干渉コントラスト（DIC）イメージングなど、さまざまな先進技術を使用して、ウェーハやマスクの欠陥や汚染を正確に検出してマークします。一連の光フィルター、光学レンズ、非拡大型カメラをアセットに統合し、優れた検査を提供します。このモデルには、欠陥分類やプロセス制御など、さまざまな自動検査およびレポート作成ツールも搭載されています。最後に、装置は精密ロボティクスを統合して、マスクとウェーハ検査プロセス全体を自動化します。これにより、精度が保証され、検査プロセスの速度が向上し、ヒューマンエラーのリスクが低減されます。また、包括的なオンボードドキュメントとプログラミング機能、およびすべての検査結果の完全なトレーサビリティを提供します。そのため、お客様は、KLA CI-9450がマスクとウェーハのバッチごとに正確で信頼性の高い検査結果を提供することを保証することができます。