中古 KLA / ICOS CI 9450 #9253654 を販売中
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KLA/ICOS CI 9450は、ウェーハ上の個々の金型を可視化し、自動化されたインライン検査と計測を提供できるマスク&ウェーハ検査システムです。これは、サブミクロンレベルでも、ウェーハ上の欠陥を検出するのに役立つ、高度なイメージング技術と、明視野、暗視野、蛍光などの多数のイメージングモードを備えています。KLA CI 9450は、スループットと欠陥検出感度を向上させ、迅速な生産を可能にします。このシステムは、高度な視力検査、レーザー変位、自動ダイ認識、およびミクロンレベルのフィジカルアライメントなど、複数の運動およびアライメント技術を提供します。各技術は、粒子解析やリソグラフィ背景の強化など、自動画像処理アルゴリズムを使用した歩留まりクリティカル機能の測定など、ダイの画質に関する詳細な情報を提供します。さらに、ICOS CI-9450には、自動欠陥検出データ分析ツールセット、品質データロガー、統合履歴ビューア、イメージビューアなど、いくつかの効率向上機能が付属しています。自動欠陥検出データ分析ツールセットは、収集されたデータの分析を支援します。組み込みの数式、チャートビュー、高度な統計情報を備えており、結果を迅速かつ正確にソートおよび解釈するプロセスを簡素化するように設計されています。Quality Data Loggerは、ウェーハ検査結果の品質をリアルタイムで把握できる機能です。これは、ユーザーが欠陥プロファイルと品質向上率を理解するのに役立つ明確で説明的なレポートを生成します。統合ヒストリカルビューアとイメージビューアのウィジェットを使用すると、ウェーハの検査結果を全体で閲覧およびレビューでき、ウェーハデータの履歴を包括的に表示できます。結論として、CI 9450マスクおよびウェーハ検査システムは、迅速かつ正確な欠陥検出および歩留まり解析機能を提供します。これにより、ユーザーはウェーハ上の個々のダイを視覚化し、サブミクロンレベルで欠陥を特定することができます。高度なイメージングテクノロジー、モーションとアライメント機能、効率向上機能により、ユーザーはウェーハの品質を迅速かつ効率的に評価できます。
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