中古 KLA / ICOS CI 9450 #9244496 を販売中

KLA/ICOS CI 9450マスク&ウェーハ検査装置は、高度なフォトマスクおよびウェーハ表面の欠陥検査を行うために設計された高性能光学表面CCDマスクおよびウェーハ検査システムです。このユニットは、最高の検査分解能と生産性を保証します。このマシンは、2つの高解像度モノクロCCDカメラからなる高度な光学イメージングツールに基づいています。2つのカメラは、最適な広い視野を提供し、プログラム可能な検査フィールド、オン軸とオフ軸の照明、位相シフト、識別、カラーチューニングなどの高度な画像技術を備えています。カメラは、画像操作を可能にするイメージプロセッサ/ビューイングステーションにリンクされています。プロセッサにはさまざまなソフトウェアプログラムが装備されており、ユーザーは欠陥を見つけ、特定し、評価することができます。また、ユーザーはマスクやウェーハの様々な領域を検査し、興味のある画像を取得することができます。さらに、ソフトウェアは欠陥の密度を計算し、将来の分析のためのオンボードデータベースに保存することができます。このアセットは、高効率で動作するように設計されており、最大0.1µmの精度で1時間あたり最大100ウェーハの検査速度を達成することができます。リモートアクセス用のセキュアイーサネットを搭載しており、世界中のどこからでもリモートアクセスを制御できます。このモデルには、直感的なユーザーインターフェイス、FOUPとLOTとの完全な統合、クイックジョブの送信と検索、エラーロギング、リアルタイムのフォルト分離など、さまざまなユーザーフレンドリーな機能が搭載されています。さらに、機器は最新のリソグラフィーおよび計測システムと完全に互換性があり、さまざまなフォトマスクおよびウェハフォーマットと互換性があります。業界標準に準拠しており、画像分類、検査レポートの生成、ドリルダウン解析をオプションで提供しています。全体として、KLA CI 9450マスク&ウェーハ検査システムは、ユーザーに高解像度イメージング機能と高度なソフトウェアプログラムを提供し、フォトマスクおよびウェーハ表面の最先端の欠陥検査を可能にする包括的で包括的なユニットです。