中古 KLA / ICOS CI 9450 #9208707 を販売中
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KLA/ICOS CI 9450は、製造プロセスの品質を監視するために使用されるインラインマスクおよびウェハ検査システムです。このシステムは、マスクからウェーハまで、製造工程の各フェーズを自動的に徹底的に検査します。KLA CI 9450は、マスク検査、プロセス検査、金型検査、ウェハ検査の4段階で構成されています。マスク検査フェーズでは、エッジ検出アルゴリズムを使用して、線幅、形状、コントラストなどのマスクのフィーチャーのジオメトリの精度を評価します。このアルゴリズムはまた、マスクのすべてのコンポーネントの適切な配置と配置を保証します。プロセス検査フェーズは、露出レベル、深さ、パターンの直線性など、マスクを生成するリソグラフィープロセスの品質を評価します。このフェーズは、所望のフィーチャージオメトリからの偏差もチェックします。ダイ検査フェーズは、チップ設計を作成するために使用されるトランジスタ、相互接続、およびその他のコンポーネントの存在と精度をチェックします。このフェーズはまた、ウェハの表面品質を監視し、チップ製品の信頼性に影響を与える可能性があります。最後に、ウェーハ検査フェーズは、デバイスが形成された後、ウェーハ表面の欠陥や汚染物を探します。これにより、不良品を最終製品に含める前に特定して取り外すことができます。ICOS CI-9450は、信頼性が高く正確なマスクおよびウェーハ検査システムです。自動化された4段階のスキャンプロセスにより、製造プロセスのあらゆる段階で欠陥や汚染を検出することができ、最終製品の最高品質を保証します。迅速かつ効率的に動作し、必要な品質チェックを実行するために必要な時間とコストを最小限に抑えます。
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