中古 KLA / ICOS CI 9450 #9186860 を販売中

KLA/ICOS CI 9450は、KLA-Tencor Corporationの最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。半導体ウェーハ、レチクル、およびマスクの潜在的な欠陥を高度なプロセスノードで識別および分析するように設計されています。KLA CI 9450は、正確なオーバーレイアライメントを提供する自動ウェーハアライメントシステムと、重要な寸法と地形を測定する高度な検査ツーリングを備えています。本製品の光学機器は、ブライトフィールドとダークフィールドの両方の機能を備え、高倍率（最大500x）で高精細な検査が可能です。さらに、ICOS CI-9450には、自動ウェーハステージ、ダイナミックフォーカスメカニズム、色、偏光、多周波マッピングなどの高度なイメージング技術など、いくつかの高度な機能があります。これらの機能により、ブリッジ、ボイディング、マスクエラーなどの不具合タイプを正確に分析できます。ソフトウェア側では、CI 9450は、欠陥分類および欠陥管理ツールを内蔵した直感的なユーザーインターフェイスと、画像解析およびレポート機能を備えています。詳細な検査結果は、ICOS/LabExpertなどの下流のレビューおよびレビューツールで簡単にエクスポートでき、検査結果を迅速かつ簡単にレビューできます。KLA CI-9450は、リソグラフィ、OPC、回折測定など、さまざまなプロセスアプリケーションに構成できます。このツールは、KLA/ICOS/Advanced Process and Review Toolの高度なレイヤプロセス制御機能、統合検査およびレビューソフトウェアとも互換性があります。このソフトウェアは、プロセスパラメータを制御および管理するための最新のテクノロジーをお客様に提供します。ICOS CI 9450は、半導体業界の要求に応えるために設計された信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査資産です。高度にモジュール化された設計により、特定のアプリケーションのカスタマイズが可能になり、高度なイメージング機能と自動パーフォマンス機能が優れたスループットを提供します。KLA-Tencorの幅広いツールとソフトウェアを組み合わせたCI-9450は、プロセス制御と欠陥検出に最適なソリューションです。