中古 KLA / ICOS CI 9450 #9186346 を販売中

KLA/ICOS CI 9450は、業界標準の欠陥検査および電気試験結果を提供する、市場をリードするマスクおよびウェハ検査装置です。この完全自動化システムは、優れた精度と再現性でフォトマスクとウェーハを検査するように設計されています。このユニットは、高いアスペクト比、大きくて不規則な形状、およびその他の検査が困難なデバイスを含むすべての種類のマスクとウェーハをカバーしています。イメージングマシン、電気工具、パターン認識アセット、検査モデルの4つの異なるが同期検出システムを使用して、すべてのマスクとウェーハの機能を正確にイメージします。イメージング装置は、4Kマイクと高解像度カメラで構成され、表面欠陥やマスクパターンをキャプチャします。2Dレンズとオートフォーカス技術を組み合わせ、画質を最大限に引き出します。リアルタイムの深度センシング技術と高度な画像処理を使用して、ダイダイ間隔、ライン幅、接触開口部、突起およびエッジの制約など、幅広い表面ディテールをキャプチャできます。電気ユニットはまた、4Kマイクを内蔵し、サウンドを使用して電気ショートを検出して開きます。それは一貫した電気性能を保障するために調節可能な空気の高さの制御機械が付いている保護された部屋の構造と設計されています。パターン認識ツールは、高性能マルチコアプロセッサと高度なパターン認識アルゴリズムを備えています。この資産は、マスクパターンの欠陥を認識し、欠陥がないか検査するように設計されています。この検査モデルは、4K視野を備えた高度な光学検査ヘッドと、最先端の欠陥分類アルゴリズムを備えています。この装置は、1µmまたはより大きな欠陥の迅速かつ信頼性の高い検査だけでなく、事実上あらゆる複雑な設計パターンを提供します。全体として、KLA CI 9450は複雑なマスクやウェーハを効率的に検査し、エラーのないようにする高度な技術を備えた高度な検出システムです。堅牢で信頼性の高い設計により、製品の損失を防ぎ、コスト削減を最大化します。あらゆる表面特性を高い精度で検出することができるため、フォトマスクやウェハ検査のニーズに最適なツールです。