中古 KLA / ICOS CI 9450 #9181242 を販売中

KLA/ICOS CI 9450マスク&ウェーハ検査装置は、ウェーハおよびマスク検査用に設計された自動光学検査（AOI）システムです。高速かつ高精度で欠陥を検出する高度なイメージングユニットを搭載しています。このマシンは、高解像度のデジタルイメージングカメラと、大規模な生産マップをスキャンするための2つの自動ステージを備えています。また、シンプルで直感的な検査パラメータプログラミングを可能にするユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを含む統合ツールコントローラが付属しています。KLA CI 9450の動作面積は40 x 40ミリメートルで、さまざまなウエハーやマスクサイズをスキャンできます。紫外線（UV）イメージング技術を活用し、0。2マイクロメートルまでの特徴を正確に検査します。これは、実質的なフィールドの画像をキャプチャし、潜在的な欠陥のためにそれらを評価することによって行われます。また、高度なコントラストアルゴリズムと色変換機能を備えており、信号と欠陥を正確に区別することができます。ICOS CI-9450はまた、その正確性と信頼性を高めるための強力な分析を持っています。これは、欠陥クラスタを分析するための統計的欠陥パターンマッチングと解析アルゴリズムを備えており、より迅速な欠陥検出を可能にします。これには、誤った欠陥の総数を減らすのに役立つ誤った欠陥の識別が含まれます。さらに、この機器は高度なフラットフィールド補正（FFC）アルゴリズムを使用して、前方散乱を軽減し、ランダムノイズを最小限に抑えます。ICOS CI 9450は直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えているため、検査を素早く設定することができます。これは、さまざまな欠陥の表示と印刷機能だけでなく、リアルタイムのオペレータフィードバックモードを持っています。また、ウェーハやマスクの目視検査用の光学顕微鏡を内蔵しています。結論として、KLA/ICOS CI-9450マスク&ウェーハ検査ユニットは、マスクおよびウェーハ検査のための信頼性の高い正確な検査機です。これは、高解像度のデジタルイメージングカメラとスキャンのための2つの自動化された段階だけでなく、強力な分析とリアルタイムオペレータのフィードバックを持っています。さらに、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ツールを簡単にセットアップできます。