中古 KLA / ICOS CI 9450 #9173937 を販売中

KLA/ICOS CI 9450は、高いスループット歩留まり性能を実現するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。KLA CX 9350の後継機であり、高度なオートメーションとカスタマイズ可能なハードウェアおよびソフトウェア機能が組み込まれています。このシステムは、ブライトフィールド、ダークフィールド、UVイメージングを同時に使用するだけでなく、特許取得済みのオーバーレイ技術を使用して、正確な欠陥検出と分類を保証します。このユニットは、25メガピクセルのブライトフィールドデジタルカメラと8メガピクセルの低光度デジタルカメラを備えており、それぞれに2インチテレクセントリックレンズマシンを備えています。広い視野と高解像度により、幅広いウエハサイズとタイプで優れた性能を発揮します。さらに、このツールには、透明材料のイメージングを改善するためのUVバイナリ相コントラストイメージング機能も装備されています。KLA CI 9450に搭載された最先端のCCDは、3Dフォトレジストステッピングなどの強化されたアーティファクトを備え、優れた光感度を提供します。さらに、特許取得済みのオーバーレイ技術が組み込まれ、潜在的なオーバーレイ関連の欠陥を検出および分類します。検査速度に関しては、最大6Gの加速を実現し、毎時640点以上のウェーハ検査が可能です。また、複数のパターンまたはターゲットを連続的なウェーハから並列に配置できるパラレル機能もサポートしています。さらに、ICOS CI-9450は、スループットを最大化するために、自動モジュール取り出しや複数のパターン負荷/アンロード機能などの高度な自動化機能を備えています。CI-9450により、さまざまなユーザーフレンドリーな対策を使用して、改善された自動化されたワークフロー制御がユーザーに提供されます。これには、目標ごとに最大10の統合目標を管理する機能、データの詳細ビューとレポートを組み合わせた機能、シフトからシフトまでの簡単なジョブセットアップツールが含まれます。全体として、KLA/ICOS CI-9450は高度で高精度なマスクおよびウェーハ検査システムで、高度な自動ワークフロー制御、高速検査機能、優れた画像解像度を備えています。半導体業界での歩留まり性能の向上と高速スループットをお探しの方に最適です。