中古 KLA / ICOS CI 9450 #9159878 を販売中

KLA/ICOS CI 9450は、半導体およびマスクの検査作業において優れた性能と精度を提供するように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。KLAの実績あるICOS™技術に基づいており、欠陥検査と反復プロセス制御のための自動化された堅牢なソリューションを提供します。このシステムの中心には、5軸の高精度ウェーハステージがあり、広域マスクやウェーハの自動的で正確なイメージングをサポートします。強力な画像処理機能と相まって、KLA CI 9450は詳細な光学検査を実現し、欠陥検査とプロセス制御を提供します。ICOS CI-9450では、マスクまたはウェーハ上の最小フィーチャーを測定および監視するために、2次元臨界次元（2D CD）測定法を使用しています。5軸の精密ロボットステージを配列し、表面を正確に撮影するための光源を備えています。光源は制御された画像を物体に送信し、CCDカメラによって検出されます。この情報は、画像処理ユニットによって処理され、標準と比較されます。標準と測定との間の異常または不一致が記載され、報告されます。ICOS CI 9450のイメージングと計測の精度は、オートフォーカスモジュールとレーザーを使用した非接触3Dイメージングマシンによってさらに高められ、マスクやウェーハの3D形状を高精度に測定することができます。ツールのモジュール設計により、柔軟でアップグレード可能なため、さまざまなアプリケーションに合わせてカスタマイズできます。KLA CI-9450は欠陥解析と反復プロセス制御が可能で、欠陥のない生産を保証します。自動化された高解像度イメージング、スポット欠陥、指向性の照明により、最も困難な欠陥も検出できます。また、アルゴリズムライブラリと統計トレンドツールを備えており、プロセス制御と設計検証データを提供します。CI 9450は、半導体およびマスク検査用の強力で信頼性の高い資産です。高度な計測および欠陥検出ツールにより、自動化された正確なイメージングおよび欠陥解析を提供します。このモデルは堅牢なコンポーネントとソフトウェアで構築されており、正確な目視検査結果を提供できます。CI-9450は、マスクとウェーハの生産で最大の性能を達成するための理想的な選択肢です。