中古 KLA / ICOS CI 9450 #9159855 を販売中

KLA/ICOS CI 9450は、半導体、ディスプレイ、およびマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）業界で使用される最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。高解像度イメージング機能、自動欠陥検出、テストサイトとカタログライブラリの比較、計測機能を提供します。このユニットは、フォトマスク、SEM（走査型電子顕微鏡）、散乱計、臨界寸法、オーバーレイ測定など、幅広い検査を提供します。そのモーターを備えた選別機は、マスクやウェーハを顕微鏡に移動させ、迅速かつ再現性のある方法で画像と検査を行います。その高解像度は、これらの基板上の様々な特徴と欠陥の詳細なイメージングを提供します。KLA CI 9450には、自動欠陥検出および分類アルゴリズムが搭載されており、視覚的および非視覚的欠陥を迅速に識別できます。このマシンはまた、製造前のテストサイトとライブラリのサイト間の比較と相関関係を提供し、複雑な欠陥の検出と分類を可能にします。また、肉眼では見えない特徴レベルの欠陥を識別することができ、そうでなければ検出できない。ICOS CI-9450は計測機能も備えており、線幅、線長、角度測定などのマスクやウェーハ上のさまざまな機能を迅速かつ正確に測定できます。オートフォーカス制御機構により、高速、正確、再現性の高い測定が可能です。CI-9450の高度なイメージング、自動欠陥検出、比較、計測機能により、さまざまなタイプの基板上で最も困難な欠陥を検出および分類するための強力なツールとなります。これらの機能は、優れた画像解像度と自動選別機と組み合わされ、ハイエンドマスクやウェーハ検査に最適なツールです。