中古 KLA / ICOS CI 9450 #9159845 を販売中

KLA/ICOS CI 9450は、ウェーハおよびマスク検査用の自動光学検査装置です。高度な光学、エレクトロニクス、ソフトウェア制御プラットフォームを備えており、ユーザーはサブミクロンレベルまで正確に機能を測定できます。KLA CI 9450は、形状欠陥の検出、ウェーハ表面欠陥、過剰エッチング機能、ライン幅の測定など、幅広い自動光学検査タスクを実行するように設計されています。それは製造およびウェーハのテスト環境で使用することができます。このシステムは、客観的な砲塔、拡大鏡、光源、カメラ、画像処理ソフトウェアなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。客観的な砲塔は、10倍から250倍の倍率範囲が可能で、11以上の目標をサポートできます。毎秒2。5回転の最高速度で動作し、高精度であるため、最小の機能でも正確な測定と分析が可能です。光源には、400ナノメートル（nm）から900 nmまでの波長を提供できるLEDが搭載されており、金属汚染物質、フォトレジストチッピング、粒子、その他のウェハやマスク表面欠陥など、さまざまな欠陥を検出することができます。カメラは、4メガピクセルのCMOS （Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージングユニットを使用して、最大解像度3,000dpi （1インチあたりドット）の5。4 μ mピクセルサイズの画像をキャプチャします。また、各3mmのFOV （Field of View）を備えた複数のカメラを使用することで、ウェーハ全体を1ショットで表示することができます。検査された画像は、独自のイメージングおよび復元ソフトウェアによって処理されます。このソフトウェアは、ツールが任意の欠陥を検出し、さらなる分析のためにそれらを定量化することができます。ズーム、輪郭線、イメージングなどのさまざまな視覚補助装置、コントラスト、明るさ、超解像度、極性、向き、その他の設定などの他のパラメータをユーザーに提供します。要するに、ICOS CI-9450は自動化された高精度で高速な検査資産です。優れた画質で正確な測定を提供するように設計されています。その強力な光学、イメージング、およびソフトウェアサポートは、製造と検査の両方の目的に適した堅牢で信頼性の高い検査プラットフォームを提供します。