中古 KLA / ICOS CI 9450 #293800808 を販売中

KLA/ICOS CI 9450は、最先端のイメージング技術を使用して、ウェーハおよびマスク欠陥検査に業界トップクラスの性能と精度を提供する高速マスクおよびウェーハ検査装置です。KLA CI 9450システムは、高度な透過イメージングユニットを採用しており、高ダイナミックレンジカメラと高度な照明源を組み合わせて、サイズや複雑さに関係なく、高コントラストで非常に詳細な画像をキャプチャします。また、近赤外線および可視光発光ダイオード欠陥の検出も可能です。ICOS CI-9450は、高度な統計プロセス制御（SPC）機能を備えており、検査基準を正確に制御するだけでなく、欠陥分析と分類を自動化します。また、オーバーレイ基準を正確に制御することができ、アウトリアを自動的に検出して拒否することができます。このツールは、IC- TRACKER™欠陥追跡ソフトウェアと統合され、統合された欠陥追跡プロセスを提供します。この機能は、その正確性と信頼性を確保するために、さまざまなマスクパターンでテストされています。KLA/ICOS CI-9450は、検査プロセス全体にわたって高いレベルの自動化を提供します。ウェーハとフォトマスクのステージ位置とフォーカスを自動制御し、欠陥分類とグレーディングを自動化します。さらに、自動ダイダイ比較モードを提供し、1回の実行で複数のマスクパターンを検証することができます。自動化された機能に加えて、CI 9450にはその機能を強化する他の機能が含まれています。これらの機能には、調整可能な欠陥感度設定、調整可能な欠陥分類基準、ローカライズされた画像変動またはダイツダイの不一致の場合のアラートパラメータ、および検査テンプレートのオンボードライブラリが含まれます。全体として、KLA CI-9450は世界トップクラスのマスクおよびウェーハ検査資産であり、ウェーハおよびマスク欠陥検査の業界トップクラスの性能と精度を提供します。その高度なイメージング技術、オートメーション機能、および統計プロセス制御機能により、あらゆる障害解析環境で強力で信頼性の高いツールとなります。