中古 KLA / ICOS CI 9450 #146762 を販売中

KLA/ICOS CI 9450は、高度なイメージング技術と強力なソフトウェアツールを使用して半導体レジストおよびウェーハの欠陥を検出する世界クラスのマスクおよびウェーハ検査装置です。KLA CI 9450は手動モードと自動モードの両方で動作し、優れた精度と信頼性を提供します。このシステムは、高精度の回転ステージとバックライト画像を備えており、直径150mmまでの試料の検査が可能です。ICOS CI-9450は、161個のラインスキャンセンサーを備えた特許取得済みのマルチスペクトルイメージング機能を使用しており、クリティカルマスクとウェーハ機能を高精度に収集、分析、解釈します。高度な画像安定化を特徴とし、チップを高速でスキャンするソリッドステートのエアベアリングステージも備えており、全体的な所有コストを低く抑えます。ユニットの高度なユーザーフレンドリーなコントロールは、機械機能をナビゲートし、表示結果をシンプルで直感的なプロセスにします。このツールの中核となるコンポーネントはKLA Opto-Flowテクノロジーで、他のマシンよりも高い精度でマスクとウェーハの測定をリアルタイムでレンダリングするイメージングプロセッサです。機能豊富なMask Design File Editorを搭載しており、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスでフィーチャーパターンを設計でき、マスクの編集と最適化が容易に行えます。ICOS CI 9450はICOS PME（パターン測定エンジン）と呼ばれるソフトウェアパッケージによって動力を与えられます；この堅牢なソフトウェアにより、資産はマスクおよびウェハサンプルから取得したデータを迅速かつ正確に処理および分析することができます。これは、材料反応性と欠陥検出を改善するためのツールとともに、歩留まり診断およびプロセス制御ツールの包括的なスイートを提供します。検査結果は、CI-9450の21インチTFTタッチスクリーンでグラフィカルおよび数値形式で提供され、互換性のあるコンピュータに簡単に転送できます。これは、データの比較を容易にし、結果の正確な分析を提供するのに役立ちます。ビルトインビューアは、ユーザーが画像とデータの大規模なセットをすばやく分析するのに役立ちます。CI 9450は、幅広いマスクおよびウェーハ検査に最適なソリューションで、プロセスの歩留まり、生産性、信頼性を向上させる使いやすい包括的なモデルを提供します。