中古 KLA / ICOS CI 9450 Rev. 5 #9016183 を販売中

KLA CI 9450 Rev。 5は、多結晶材料のアライメントおよび制御における表面欠陥および欠陥を検出するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。半導体表面プロセスの検出に適しており、5nm以下の小さな非周期的欠陥から大きな不規則な欠陥までを検出することができます。CI 9450は、優れた信号対ノイズ性能を実現する特許取得済みのQuad- Pixel™テクノロジーを搭載した高解像度の光学システムを備えています。これにより、信号と背景のコントラストが向上し、高解像度の欠陥検出機能が向上します。このユニットには、長距離（LWD）から高い数値開口（NA）までの範囲の目的が装備されています。これにより、最も困難なプロセス条件でも高精度の検査が可能になります。このマシンには、データの操作と管理のためのWindowsベースのソフトウェアスイートが搭載されています。直感的なユーザーインターフェイス、強力な画像解析アルゴリズム、およびオートメーション機能が含まれています。画像解析は、欠陥検出、分類、レビュー、レポート、並べ替えなど、さまざまな基本的かつ高度な機能を通じて促進されます。ウェハスタンドアロン統計プロセス制御（SPC）ツールの包括的なスイートは、効率的なデータ分析とフェイルセーフ操作のために利用できます。CI 9450はまた、振動を低減した高速動作が可能なロボットのワンパス検査用の洗練された5軸ステージを備えています。スマートイールドマッピング技術は、視野とカバレッジ比を自動的に最適化することで、最高の稼働時間を保証します。このツールはまた、高精度のための二軸ステージモーション制御とクロスドリフト補正を提供します。全体として、ICOS CI 9450 Rev。 5は、非常に小さな欠陥を検出できる高性能マスクおよびウェーハ検査アセットです。洗練された光学および画像処理機能、強力なWindowsベースのソフトウェアスイート、およびロボットワンパス検査用の5軸ステージを提供します。これらの機能を組み合わせることで、CI 9450は研究および生産アプリケーションの両方に最適なソリューションとなります。