中古 KLA / ICOS CI 8250 #9208706 を販売中
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KLA/ICOS CI 8250は、高度なマイクロリソグラフィーマスクおよびウェーハ検査装置です。これは、最新世代の半導体の複雑なプロセスによって要求される最新のマスク検査およびウェハレベルの欠陥検出要件をサポートするように設計されています。それは顧客にマスクの欠陥および他の関連区域を正確に点検し、見直す適切な用具を与えます。KLA CI 8250は、最高レベルの画質と欠陥検出プロセスを提供します。このシステムは、2つの高解像度デジタルカメラを備えた高度な光源を備えており、ダイレベルで機能を表示します。また、5ミクロンのスキャン解像度、3つのLEDライトエンジンが均一な現場照明を提供し、測定範囲は20mmから305mmです。さらに、8インチのフラットパネルX-Yステージは、サンプルの積み下ろしを容易にするように設計されており、粒子への露出を最小限に抑えます。8250はまた、x方向とy方向の両方のサンプルを検査するための自動サーベイおよびアライメントユニットを備えており、欠陥を検出および/または分類して一貫した迅速かつ反復可能な検査を提供することができます。このマシンは、オペレータの侵入による照射を低減するように設計されたクリーンルーム対応のエンクロージャで設計されており、オプションの環境制御ユニット(ECU)を提供して、一貫した湿度と温度条件を維持し、プロセスのすべてのステップで高品質の検査を最大限に正確に行うことができます。さらに、ICOS CI-8250はオンボード品質管理を自動化し、ユーザーが迅速に検査を設定および実行できるようにしました。直感的な操作ツールにより、ユーザーは結果を測定、報告、ログ、比較することができ、欠陥パターンの分析と理解が容易になります。強力なアルゴリズムを使用することで、アセットは従来の方法よりも迅速かつ正確に欠陥を見つけて特徴付けることができます。8250は革新的なKLA製品で、マスク分析、ウェーハ検査、欠陥特性評価のための最大限の柔軟性と精度を兼ね備えています。ウェハレベルの欠陥を検査するための高品質で低コストのソリューションで、究極の精度と生産性を提供します。
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