中古 KLA / ICOS CI 8250 #9124473 を販売中

KLA/ICOS CI 8250は、正確なマスクおよびウェーハ検査用途向けに設計された、完全に自動化された先進的な検査装置です。高度な光学系、高解像度カラーイメージング、自動化されたプロービングステーションを備えており、欠陥の迅速な検出と修正を可能にします。KLA CI 8250には機械学習技術が組み込まれており、条件の変化に合わせ、誤検知を最小限に抑え、オペレータが介入することなくスループットを向上させることができます。検査システムには、2048 x 1536ピクセルの解像度を持つ4つの高速カラーカメラを備えた多重カラーイメージングユニットが装備されています。統合された青いLED光源は均一な明るさを提供し、イメージ投射の性能を高めるのを助けます。イメージングマシンは、粒子、傷、空隙、金属フィルムの亀裂など、幅広いマスクやウェーハの欠陥を検出することができます。このツールはまた、viaとline-edgeの粗さを検査し、これらのタイプの欠陥を認識して修正することができます。ICOS CI-8250は高速プロービングステーションを備えており、生産前にマイクロ欠陥をキャプチャできます。ステーションには、デュアル軸電動ステージとHDカメラが装備されています。イメージング資産は、1つの場所にすべてのウェーハの4つの画像をキャプチャすることができ、1秒間に最大8枚の画像をキャプチャすることができます。高速スキャンプロセスは、高品質の画像を保証し、正確な欠陥位置情報をモデルに提供します。検査装置には高度なソフトウェアが搭載されており、欠陥を迅速かつ正確に検出および修正することができます。このソフトウェアには機械学習アルゴリズムが組み込まれており、光学システムまたはウェーハ機能の変更に適応することができます。このユニットはアルゴリズムを使用して、以前の検査実行から収集されたデータに基づいてパラメータを最適化し、スループットを向上させます。さらに、ソフトウェアは、オペレータが簡単にカスタマイズされた検査レシピを作成することができます。品質を確保し、コストを削減するために、CI-8250にはさまざまな品質管理機能が組み込まれています。統合されたデータ分析機能とインテリジェントな拒絶アルゴリズムを備えており、偽陽性の拒絶反応を低減します。また、生産中のエラーを排除するための強力なエラー検出機を備えています。さらに、このツールのトレーニングモジュールは、ユーザーに資産の操作方法と結果の解釈方法についての詳細な指示を提供します。KLA CI-8250は、要求の厳しいマスクおよびウェーハ検査アプリケーションの厳しい要件を満たすように設計された、信頼性の高い精密な検査モデルです。高度な光学機器、イメージング機器、自動化されたプロービングステーション、機械学習技術およびデータ分析機能により、欠陥を迅速かつ正確に検出および修正できます。内蔵の品質管理機能により、システムの効率がさらに向上し、生産出力が仕様内にあることを保証します。