中古 KLA / ICOS CI 8250 #9111213 を販売中
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KLA/ICOS CI 8250は、半導体業界のニーズに合わせて設計された最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。この自動化されたツールは、高度な光学系とソフトウェアシステムを組み合わせて、検査プロセス中にウェーハの潜在的な欠陥を迅速かつ正確に検出、分類、測定します。KLA CI 8250は、解像度5ナノメートルの高分解能ブライトフィールド光学顕微鏡、並列接触個別スポットパターン認識システムを使用しています。これにより、キズ、粒子破片、ラインエッジの粗さ、穴、部分的な転位など、さまざまな欠陥を捕捉、分類、測定することができます。また、重要な寸法の変化を検出することができ、効率的な品質管理が可能です。ICOS CI-8250は、高度なソフトウェア機能も備えています。欠陥画像解析ソフトウェア(IMAX)、欠陥レビューソフトウェア(FOTOS)、スキャンツーレビューソフトウェア(WAVER)など、欠陥解析を支援する一連のソフトウェアツールが含まれています。これらのツールを使用すると、欠陥をすばやく分類および定量化でき、欠陥が閾値を超えるとプロセスエンジニアに通知できます。さらに、CI 8250はユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、効率的で直感的な操作を可能にします。また、高度なロボットオートメーションを備えており、サンプルの処理とソートを自動化できます。フラットウェーハサンプルホルダー、シグナルインテグリティアレイサンプルホルダー、ステップアンドリピートサンプルホルダーなど、複数のサンプルホルダーを使用できます。これにより、ユーザーはさまざまな検査および分析アプリケーションのためのCI-8250を最適化することができます。要約すると、KLA CI-8250マスクおよびウェハ検査ツールは、検査プロセス中に潜在的な欠陥を迅速かつ正確に評価するための強力な光学およびソフトウェアシステムを提供します。この自動化ツールは、半導体業界のニーズを満たすように設計されており、高度なロボット自動化、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、欠陥解析を支援する一連のソフトウェアツールを備えています。
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