中古 KLA / ICOS CI 8250 #9053897 を販売中

ID: 9053897
ヴィンテージ: 2000
Inspection system 2000 vintage.
KLA/ICOS CI 8250は、高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。製造工程における半導体フォトマスクとウェーハの両方のさまざまな欠陥を検出、分析、分類するように設計されています。このシステムは、光学検査ユニット、ウェーハおよびマスク洗浄機、および欠陥分類ツールで構成されています。高度な光検査資産は、それぞれ異なるマスクとウエハサイズに対応できる3つの異なる光学ヘッドを備えています。各ヘッドは、線幅や形状のばらつき、異物含有物、ヘイズ、ボイド、反り、その他の表面の不規則性など、さまざまなサイズと種類の欠陥を検出できます。ウェーハおよびマスク洗浄モデルは、検査前にマスクやウェーハを徹底的に洗浄するように設計されており、最高の精度を提供します。この装置は、表面から最小の粒子を除去することができる独自の技術とプロセスを利用しています。最後に、各タイプの欠陥を識別するために設計された強力な画像処理アルゴリズムで構成される欠陥分類システム。これにより、ユニットは欠陥の存在を検出するだけでなく、詳細な分析のために各タイプの欠陥を正確に分類することができます。この機械は、特定の欠陥の重大性を分類することもでき、製造工程中の最適な是正戦略を可能にします。全体として、KLA CI 8250は強力で洗練されたマスクおよびウェーハ検査ツールであり、半導体製造プロセス全体で高品質と高精度を保証します。さまざまな種類の欠陥を検出して正確に分類できるため、潜在的な問題を迅速かつ効果的に特定して対処できます。この資産は、製造工程における欠陥の修正に伴う時間、材料、および人件費を削減することができ、あらゆる半導体メーカーにとって貴重なツールとなります。
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