中古 KEM / KOKUSAI VR-70 #9157351 を販売中

KEM/KOKUSAI VR-70は、フォトマスクやウェーハの検査用に設計された高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。光学検査、欠陥分類、欠陥数、印刷、平坦度、金型表面、ウェーハ平坦度の測定など、複数の検査を行います。高度な高解像度画像形成ユニットを使用して、優れた再現性と精度でフォトマスクやウェーハ表面のリアルタイム画像を取得します。取得した画像は、超高速レーザーイメージングマシンと欠陥位置と分類のための高速ダイレベル検査アルゴリズムによって処理されます。KEM VR-70は、3,000ウェハ/時間のスループットで、高速検査速度を提供します。このツールは、波長532nmのビームフォーミング技術を使用して、最大250フレーム/秒のフレームレートで画像を取得し、最大75nmの画質解像度を実現します。取得した画像は、欠陥検出、分類、およびカウントのための高度なウェーハ表面解析を受けます。欠陥、パターン、印刷エラーなどの欠陥を高精度かつ信頼性で検出および分類することができます。また、KOKUSAI VR-70アセットは、ユーザーが効率的に測定を設定し、結果を分析し、品質を確認することができる、自動化されたユーザーフレンドリーなオペレータインターフェイスを提供します。また、リニア回折格子スキャン装置（LDSS）を搭載しており、さまざまなプリントサイズから安定した高解像度で信頼性の高いウェーハ平坦度測定が可能です。このシステムは、表面トポロジの厳しい要件を満たすために、正確な表面振動と傾き測定を提供することができます。要するに、VR-70はフォトマスクおよびウェーハ表面の点検のための高性能、正確さおよび信頼性を提供する高度のマスクおよびウェーハの点検単位です。高度な高解像度画像形成装置、超高速レーザーイメージングツール、ダイレベル検査アルゴリズムを搭載し、ウェーハ表面の欠陥を迅速かつ正確に検出、分類、カウントすることができます。また、自動化されたユーザーフレンドリーなオペレータインターフェースと、正確な表面トポロジ測定用の線形回折格子スキャン装置（LDSS）も備えています。