中古 KARL SUSS / MICROTEC BA300-MIT #9158291 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC BA300-MITは、フォトマスクやフロントエンドのウェハ加工において、高解像度のイメージングと自動欠陥検出を実現するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。これは、25 μ mまでの欠陥カバレッジを提供するように設計されており、スタンドアロンツールとしてだけでなく、他のマイクロリソグラフィーツールと組み合わせて使用することができます。MICROTEC BA300-MITは、ユニットの均一で信頼性の高い動作を保証する高精度の自動ウェーハ搬送システムを備えています。また、高解像度とコントラストを実現するために微調整が可能な光学系も搭載しています。このマシンは、バックグラウンドノイズを低減するために小さな視野イメージングで使用するために最適化されており、画像をキャプチャするためにダブルテレセントリックツールを使用しています。これにより、正確で一貫した結果が得られます。イメージング機能に加えて、KARL SUSS BA300-MITは統合されたマイクロチップカメラも備えています。このカメラは欠陥をキャプチャするように設計されており、検査データを効率的に使用することができます。表面や表面の欠陥を高精度に検出・測定する広いダイナミックレンジを搭載しています。また、検査中の背景ノイズやその他の歪みを最小限に抑えるように設計されています。マスク&ウェーハ検査アセットには、重要な欠陥を検出および分離するために使用される自動メイクラング検査も含まれています。このプロセスは、誤検出を排除し、欠陥修復のコストを削減することにより、製品の歩留まりを改善するのに役立ちます。このモデルには、スキャンされたサンプルの個々の欠陥を分離して識別するための欠陥解析アルゴリズムも含まれています。BA300-MITは、自動欠陥検出と検査に加えて、テキスト認識用のOCR装置も備えています。このシステムは、マスクやウェーハサンプルのパターンやシンボルをすばやく読み取り、解釈するために使用できます。これらのパターンとシンボルは、欠陥を正確に分類し、ユニットの全体的な精度を向上させるために使用できます。KARL SUSS/MICROTEC BA300-MITは、信頼性と正確な結果を提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査機です。高解像度のイメージングと自動欠陥検出機能により、フロントエンドのウェーハ処理に最適なツールです。統合されたマイクロチップカメラと高いダイナミックレンジにより、このツールは重要な欠陥を迅速かつ正確に特定できます。アセットの自動検査技術とOCRモデルは、誤検出や欠陥修理に伴うコストの削減にも役立ちます。