中古 K-MAC SpectraThick #9134199 を販売中
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K-MAC SpectraThickは、高精度で欠陥を検出できる高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。そのユニークなデザインは、マスクとウェーハレベルだけでなく、さまざまなタイプのリソグラフィに適用することができます。このシステムは、分光イメージング技術を使用して欠陥を検査し、正確で連続的なスキャンを提供します。検査はレーザービームによって行われ、マスクまたはウェーハに沿って導かれて透過または反射の欠陥を検出します。レーザー光線は、さまざまな種類の欠陥を検出するために、特別な波長選択ユニットが装備されています。レーザーはまたビームの伝達か反射を測定し、マスクかウェーハを通って動く材料の吸収および反射特性に基づいて材料を識別できます。SpectraThickマシンはまた、結果の精度をさらに高めるために、さまざまなアルゴリズムを採用しています。これらのアルゴリズムは、入力データを処理し、明るい斑点や暗い斑点、複数の散乱センターの欠陥、収縮と膨張、線欠陥、光吸収などのさまざまな欠陥を検出します。欠陥の場合、欠陥の正確な位置とサイズが識別されます。K-MAC SpectraThickはまた、スキャン領域や欠陥検出しきい値などの設定を調整するための幅広いオプションを提供します。このツールは非常に構成可能で柔軟性があり、手動操作と自動化された操作の両方をサポートしているため、ユーザーは検査タスクにアセットを調整することができます。その高度な機能により、欠陥分類や特性評価など、検査以外の追加機能を組み込むことができます。全体として、SpectraThickは、マスクおよびウェーハ検査用の堅牢で洗練された精密な検査モデルを提供します。高品質、高精度、柔軟性により、多種多様なアプリケーションに最適なソリューションです。
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