中古 K-MAC SpectraThick #293756646 を販売中
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K-MAC SpectraThickは、大面積、超薄型ウェーハおよびマスクの検査用に設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、市場で最高の精度と解像度と最速の検査速度を提供します。10nm分解能と高精度な計測機能を搭載し、マスクやウェーハの直径600mmまでの検査を正確かつ迅速に行うことができます。SpectraThickマシンは、高速露光時間と広い視野を可能にする統合された望遠鏡を備えています。また、大面積の特徴を検査する際に優れた性能を提供するためにF理論設計された光学を使用した可変倍率目標も含まれています。さらに、このツールは、2ビューのマルチチャネル画像解析アセットを使用して、サンプルのサブウェーブ長の欠陥を包括的に表示します。このモデルは、最高の精度を確保するために、レーザービームとスリットビームからなるデュアルビームスキャンアーキテクチャを使用しています。スリットビームは、固定ドウェル時間でサンプルをスキャンするために使用され、レーザービームはサンプルをライン方向にスキャンするために使用され、高速カバーツーカバーイメージングを可能にします。この装置には、スキャン開始前にサンプルからのダスト粒子を検出および除去できる自動ダスト認識システムも含まれています。このユニットはインタラクティブなユーザーインターフェイスを使用して簡単に制御でき、オペレータは明るさ、コントラスト、フォーカスの設定を素早く調整できます。さらに、K-MAC SpectraThickマシンには、エッジ検出、コントラスト強化、欠陥測定、欠陥マップ検出のオプションをユーザーに提供する高度な画像処理モジュールが組み込まれています。このツールは、高品質の画像と高いダイナミックレンジと低ノイズ比で正確な検査結果を生成し、正確な測定と分析を可能にします。さらに、この資産は高いスループット率を有しており、大規模な検査を迅速に行うことができます。全体として、SpectraThickモデルは、さまざまなサンプルに優れた性能と精度を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムの機能により、大面積の超薄型ウェーハおよびマスクを迅速かつ正確に検査することができ、詳細と精度の向上が必要なオペレーションに最適です。
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