中古 IRVINE OPTICAL Ultrastation #293792555 を販売中

IRVINE OPTICAL Ultrastationは、欠陥密度、精度、再現性、スループットの点で優れた結果を提供するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、ウェーハおよびレチクル検査、表面および界面解析、およびマイクロエレクトロニクスプロセス評価における自動光学検査および計測ニーズに最適です。Ultrastationは、優れたイメージングと明るいフィールド照明を提供する高度な光学設計を備えています。このユニットは、X、 Y、 Z方向に正確に移動する機能を備えた高精度の機械および光学ステージを備えています。この高度な技術により、測定ごとに高精度で反復可能なプロファイルを提供することができます。また、あらゆる種類のマスクやウェーハの画像を撮影するための高解像度カメラや、表面、ひずみ、膜厚測定用のIR感度検査カメラも搭載しています。IRVINE OPTICAL Ultrastationは、最高の精度を確保するために、高精度のアライメントツールを使用しています。このアセットは、検査装置を整列させ、分析プロセス全体を通じて適切な焦点を確保するのに役立ちます。さらに、Ultrastationは、フォトリソグラフィ構造を測定し、潜在的なエラーを正確に特定し、不規則性をすばやく解決するためのQuadLight albedo輪郭測定ツールで設計されています。IRVINE OPTICAL Ultrastationは、高度なソフトウェアを使用して、各分析が最高品質の基準を満たしていることを確認します。STORMソフトウェアスイートは、Windowsプラットフォーム上で動作し、サンプルイメージの測定、イメージング、分析に使いやすいインターフェースをユーザーに提供します。解析機能には、自動テーブル検出、グリッド定義、要素領域定義、エッジ検出、アイランド解析、クロスハッチ解析、位相分離解析、レイヤーシフト解析などがあります。これに加えて、Ultrastationには、高価な複数の段階の必要性を回避し、リソグラフィー場、線、円などの機能をリアルタイムで識別できる独自の空間位相解析技術が装備されています。要するに、IRVINE OPTICAL Ultrastationは、ウェーハとマスクの検査と分析を最適化する包括的な機能をユーザーに提供する汎用性の高いモデルです。