中古 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3E #9157328 を販売中
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ID: 9157328
ウェーハサイズ: 8"
Wafer inspection systems, 8"
NIKON BD Plan optics
Trinocular head.
IRVINE OPTICAL Ultrastation 3Eは、ユーザーが最高レベルのプロセス制御と欠陥検出を達成できるように設計された高度なマルチアプリケーションマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、最新の光学およびエレクトロニクスを使用して、高解像度、高速、および柔軟性のユニークな組み合わせを提供します。半導体マスク、ウェーハ、基板のあらゆる検査要件を満たすように設計されています。Ultrastation 3Eは、高速光学キャプチャを備えた高度なイメージング技術を備えており、スループットと精度を最大化します。ユニットはまた、強化された画像表示と処理を可能にする独自のビューアソフトウェアパッケージが含まれています。このソフトウェアは、極軸傾斜の補正と自動コントラストと明るさの強化を備えた高倍率光学を提供します。さらに、自由に回転可能な偏光照明装置は、柔軟な視野角で高精度なアライメントを提供します。最適な検査とデータ分析のために、IRVINE OPTICAL Ultrastation 3Eは高解像度のデジタル光源と高度な検査技術を使用しています。これらのスキャンおよびイメージング機能により、ユーザーは感度が向上した0.25µmまでの機能を調べることができます。感度の向上により、マスクまたはウェーハの表面全体にわたって1 2µmの欠陥を検出できます。3E Ultrastationツールは、特定のユーザーのニーズを満たすために精度と再現性を提供する多くの好みの設定で使用する準備ができています。ユーザーはアセットに依存して、マスクやウェーハの検査に最高レベルの精度、信頼性、再現性を確保できます。出力されたデータはASCIIまたはraw形式で保存され、必要に応じてさらなる検査と分析が可能です。3E Ultrastationは、検査用のスタンドアロンモデルとして使用することも、より高いプロセススループットを得るために、より大きな検査装置に統合することもできます。Ultrastation 3Eは、ユーザーが最高レベルのプロセス制御と欠陥検出を達成できる高度なマスクおよびウェーハ検査ツールです。高解像度のデジタル光源、高度なイメージングおよびデータアルゴリズム、フレキシブルな視野角により、マスクやウェーハの検査で精度と再現性を向上させることができます。IRVINE OPTICAL Ultrastation 3Eシステムは、最高レベルの欠陥検出を提供する信頼性の高い効率的なツールをユーザーに提供するように設計されています。
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