中古 IRVINE OPTICAL Ultrastation 3 #9080750 を販売中

IRVINE OPTICAL Ultrastation 3は、半導体メーカーの要求する高い均一性と精度を満たすように設計された最先端のデジタルマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、生産性とスループットを最大化し、コストと運用のダウンタイムを最小限に抑えるように特別に設計されています。Ultrastation 3は強力な電動ステージによって駆動され、1ミクロンまでの欠陥の正確な多層アライメントと分解能が可能です。ユニットは、各マスクとウェーハの画像をキャプチャするカメラのセットを使用しています。カメラ画像を取得した後、中央のコンピュータマシンは画像を組み合わせて、マスクとウェーハの仮想表現を作成します。IRVINE OPTICAL Ultrastation 3は、特殊な画像処理および欠陥解析ツールも提供します。内蔵の光学検査、電気特性の正確な測定、高速イメージングなどがあります。Ultrastation 3を使用すると、製造メーカーは複数のテストを同時に実行し、複数のマスクとウェーハを迅速に検査できます。この信頼性とスループットにより、製造プロセスの効率が向上します。このツールはまた、高精度を確保するためのいくつかの高度な機能を提供しています。これらには、適応光学、均一補正、暗視野の測定が含まれます。アダプティブオプティクス機能により、アセットは特定のウェーハまたはマスク内の欠陥の正確な位置を正確に特定できます。この情報は、マスクのずれを軽減し、堆積制御を改善するために使用することができます。Uniformity Correction機能は、検査プロセス中に発生する可能性のあるエラーを防止することにより、検査された画像と測定が信頼性と正確であることを保証します。Dark Field Measurementsを使用すると、最も弱い欠陥を測定でき、すべての欠陥が適切に識別および検査されるようになります。IRVINE OPTICAL Ultrastation 3は、アノテーションされた欠陥ライブラリ、レポート機能、自動設定など、多くの有益な追加機能も提供します。これらの機能は、マスクおよびウェーハ検査プロセス全体が可能な限り効率的かつ正確であることを保証するのに役立ちます。全体的なUltrastation 3は、高度で効率的で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査モデルです。高精度を確保するために設計された包括的な一連の機能を提供し、効率とスループットを最大化するさまざまな機能を提供します。