中古 INTELLEMETRICS LEP300 #9123983 を販売中

ID: 9123983
ヴィンテージ: 2001
End point detector system 2001 vintage.
INTELLEMETRICS LEP300は、4ゾーンイメージング技術を活用し、フラットパネルディスプレイの構造依存欠陥を検査する高性能マスクおよびウェハ検査装置です。反復パターニングプロセスの後に表示される変更やノッチの使用など、他の方法では検出できない微妙な欠陥を識別するように設計されています。このシステムは、画像データをキャプチャし、サブピクセルレベルで欠陥を識別することができます。LEP300の主なコンポーネントは、高解像度、ブロードバンドビジョンカメラ、光源、さまざまなセグメンテーション倍率を持つレンズ、光学フィルター、およびCCDラインスキャン検出器です。カメラは非常に高い画質で動的な画像を生成することができます。特別な光学フィルターは、カメラがパネル上の関連する欠陥をキャプチャするのを助けるために使用されます。高レベルの画像処理技術は、カメラによって画像品質を向上させるためにも採用されています。ユニークな検査機能を備えた4つのゾーンがあります。MacroZAゾーンは一般的な欠陥や粒子のパターン構造を検査し、MicroZAゾーンは欠陥のサイズ、形状、間隔、ギャップ幅を検査します。DetZAゾーンは光学性能に影響を与える複雑な欠陥を検査し、SmallZAゾーンは通常肉眼では見えない小さな欠陥を検査します。これらのすべてのゾーンは、パネルの包括的な検査を提供するために結合します。INTELLEMETRICS LEP300には、さまざまな画像処理アルゴリズムを組み合わせた高度でリアルタイムな解析ソフトウェアが搭載されています。ソフトウェアはまた、複数のステーション間の迅速なデータ転送を可能にし、カスタマイズされたデータキャプチャ速度を可能にします。さらに、このマシンの高度なアナライザ機能により、構造に依存する欠陥の検出と軽微な修正が可能になります。全体として、LEP300は非常に強力で効率的なマスクおよびウェーハ検査ツールです。その高度な4ゾーンイメージング技術は、サブピクセルレベルで欠陥を検出して測定するのに役立ち、複雑なパターンや修正でも欠陥検出を強化することができます。統合された画像処理アルゴリズムと洗練されたデータキャプチャにより、モダンで自動化された製造作業に最適です。
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