中古 INTELLEMETRICS IL-540 #123173 を販売中

INTELLEMETRICS IL-540
ID: 123173
Optical thickness monitor.
INTELLEMETRICS IL-540は、ウェーハおよびマスク製造プロセス用に設計された自動検査装置です。IL-540は、イメージング、ロボット、コンピュータビジョン技術を組み合わせて、半導体マスクやウェーハの欠陥、輪郭、表面品質を検査します。このシステムは、ビジョンベースのCCDカメラと独自のビジョンアルゴリズムを使用して、分析のためにマスクまたはウェーハのデジタル画像をキャプチャします。画像はコンピュータビジョンアルゴリズムで解析され、欠陥や表面の欠陥を特定します。画質が満足できると判断された場合、ユニットはロボティクスを使用して、指定された場所にウェーハまたはマスクを選択して配置します。INTELLEMETRICS IL-540は、マスクやウェーハの表面にある正確な形状や特徴をカメラが分析できる照明光源を採用しています。これは、ビジョンアセンブリに高度な光学機器を組み込むことによって可能になり、光源とカメラが適切な画像処理のために正しく整列されることを保証します。これにより、マスクまたはウェーハの機能を正確に定量化することができ、パフォーマンスが向上し、出力が高速化されます。IL-540のロボットアセンブリは、特定の場所に単層または多層マスクまたはウェーハを取り付けることができます。それはオペレータ介入を必要とせずにそれが処理された同じ区域に点検された部品を戻すことができます。INTELLEMETRICS IL-540には、既存の生産プロセスと容易に統合できるカスタムプログラマブルコントローラが装備されています。モジュラー設計により、資産全体の効率と信頼性が向上し、特定のタスクに合わせて簡単にカスタマイズできます。IL-540には、温度監視機能や空気圧の測定など、さまざまな診断機能が含まれています。また、さまざまな自動安全機能や監査追跡機能も備えています。このモデルは、生産歩留まりと分析データに関する正確な情報を提供することができ、プロセス全体の制御を確実にするのに役立ちます。INTELLEMETRICS IL-540は、マスクとウェーハの製造プロセスのための費用対効果の高い汎用性の高いツールです。先進的な光学系とロボティクスを組み合わせることで、幅広い診断機能と安全機能を備え、幅広い材料を効率的に検査することができます。これにより、高い精度と品質管理を必要とする生産ラインに理想的なソリューションとなります。
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