中古 INTELLEMETRICS IL-510 #123172 を販売中

INTELLEMETRICS IL-510は、リソグラフィ検査の正確で信頼性の高い分析測定を提供するように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。この高度なシステムは、フォトリソグラフィーマスクやウェーハの欠陥を検査して特定するために、さまざまな高度な光学およびイメージング技術を統合しています。IL-510は、1秒間に最大6万枚の画像でコンタクトとシャドウマスクの高速光学検査を行い、迅速な欠陥検出と分類を可能にします。コンタクトマスクには、フォトマスクのフラットフィールドフォーカスツールを使用して画像を収集する完全に自動化されたプログラマブルイメージングマシンが装備されています。この資産は、優れた画質と精度を確保するために高度なハイライトキャリブレーションで、迅速な欠陥のレビューと識別のために設計されています。さらに、画像ノイズを低減し、背景干渉をなくし、全体的な画像コントラストを向上させる高度な画像処理機能を備えています。シャドウマスクの場合、INTELLEMETRICS IL-510には、1ミクロンの解像度で1000Xまでの優れた倍率を提供するプログラム可能なズーム光学機器が装備されています。このシステムには、デジタル自動画像解析装置、レーザーライン照明装置、マスクの両側の欠陥を検査するためのプログラム可能な均一なフィールド照明などの機能も含まれています。さらに、IL-510は高精度のアライメントと計算システムを使用して、さまざまなタイプの欠陥を認識および評価します。この機械は0。01ミクロンまで正確さのランダムな欠陥、詰まり、ピンホール、ピークおよびNTFのパターを識別することができます。さらに、INTELLEMETRICS IL-510には、スキャンされたウェーハを正確にアライメントするための高精度フィデューシャルツールが搭載されています。IL-510は、SEMI M1/M2やESD規格などの業界要件に準拠しています。統合されたウェーハハンドリングアセットにより、最大1000個のウェーハを検査し、人間の介入なしに校正することができます。また、既存のリソグラフィ装置やプロセス制御システムと組み合わせることで、正確で信頼性の高いリソグラフィマスクやウェーハの測定が可能です。全体として、INTELLEMETRICS IL-510は、生産性を最大化し、優れた製品品質を確保するために、完全に自動化された高速で高解像度のマスクおよびウェーハ検査装置を提供します。