中古 INTEK PLUS IPIS-300 #9148604 を販売中
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INTEK PLUS IPIS-300マスクおよびウェーハ検査装置は、半導体製造プロセスの先進的なツールです。製造工程でマスクやウェーハ製品を検査するための高速・高解像度プラットフォームを提供します。システムは完全に自動化されており、マスク、ウェーハ、およびダイを迅速かつ正確に検査するためにCCDカメラの配列を使用しています。IPIS-300は、1話あたり5ミクロン以上の画像をキャプチャする1。2メガピクセルCCDカメラアレイを提供しています。この高解像度により、サブパターンを評価することができ、そうでなければ気づかないかもしれない最小の欠陥を検出することができます。また、5軸の計測ドライブを備えており、3つの角度に沿って回転してキャプチャし、水平方向および垂直方向の配置を移動することができ、マスクおよびウェーハ製品のさらに詳細な分析を提供します。INTEK PLUS IPIS-300は、スポットおよびライン検査、最小機能検出、欠陥レビューなど、さまざまな検査機能と機能を提供します。このツールのノイズ低減アルゴリズムは、誤報を特定し、ウェーハまたはマスク製品からのノイズを低減するのに役立ちます。さらに、このアセットは、フォーカス、チャート、オーバーラップなどのウェーハの重要なパラメータを評価することができます。IPIS-300はまた、ウェーハおよびマスク検査プロセスを合理化する専用のソフトウェアスイートも提供します。このソフトウェアを使用すると、モデルの設定、画像のキャプチャ、詳細なレポートの生成が簡単に行えます。また、欠陥分類、サイジング、カバレッジなどの多数の分析オプション、および後の作業のためのパラメータ設定を保存する機能も提供します。全体として、INTEK PLUS IPIS-300は、マスクおよびウェーハ製品の高解像度自動検査を提供する先進的な機器です。1。2メガピクセルのCCDカメラアレイ、高解像度イメージング、ノイズリダクションアルゴリズム、専用ソフトウェアスイートにより、最小の欠陥を検出することができ、ユーザーはより高い精度と速度でウェーハおよびマスク製品を検査することができます。
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