中古 IMS LVIS-III #9159231 を販売中

IMS LVIS-III
ID: 9159231
ヴィンテージ: 2009
Inspection system Currently de-installed 2009 vintage.
IMS LVIS-IIIは、製造、研究開発、およびその他のアプリケーションにおけるウェーハおよびマスクの迅速かつ正確な分析のために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。この装置は、最新のデジタルイメージングおよびセンサー技術を使用して、ウェーハまたはマスク表面の高解像度画像を作成します。このシステムは幅広い機能を備えており、ユーザーはウェーハやマスクの欠陥を効果的かつ便利に検査することができます。このユニットは、ウエハーまたはマスク上のさまざまな材料層を分析できるように調整可能な、統合された紫外線(UV)および近赤外線(NIR)光源を備えています。この顕微鏡には、ウェーハまたはマスク画像のコントラストを最適化するために調整できる自動偏光フィルタも含まれています。統合されたチャレンジボックスを使用すると、検査された材料のスポット測定を行うことができ、正確で一貫した再現性が得られます。このマシンには、オンボードデジタルステッピングモーターを備えた高性能の電動XYステージも含まれています。これにより、サンプルをX方向とY方向に素早く正確に移動させ、視野全体を検査することができます。顕微鏡には多数の検査プログラムが搭載されており、シワ、変色、バンプなどの最も一般的な欠陥を正確に検出することができます。顕微鏡に加え、高解像度のデジタルカメラを搭載し、ウェーハやマスク面の精密な解析が可能です。また、データキャプチャ、分析、レポート作成用のソフトウェアも含まれています。このソフトウェアは、ユーザーが画像のコントラストと明るさを最適化するために画像パラメータを調整することができます。その後、すべての画像をコンピュータのハードドライブにJPGまたはBMPファイルとしてエクスポートして分析することができます。全体として、LVIS-IIIは強力で高度なマスクおよびウェーハ検査資産であり、使いやすいインターフェイスと最新のイメージング技術を提供し、正確で信頼性の高い結果を得ることができます。この装置は研究および製造の両方の適用にとって理想的で、研究者および製造業者はあらゆる欠陥のためのウェーハかマスクを迅速かつ正確に分析することを可能にします。
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