中古 ICOS WL-1500 #9247204 を販売中

ICOS WL-1500
ID: 9247204
ヴィンテージ: 2009
Automatic grain inspection system 2009 vintage.
ICOS WL-1500マスクおよびウェーハ検査装置は、マスクおよびウェーハファブ上の小さなデバイス構造を評価するための先進的なソリューションです。このシステムは、高度な光学倍率(最大倍率)、ユーザーインターフェースの強化、およびナノスケール構造の正確かつ正確な特性評価を可能にするツールの配列を備えています。WL-1500は、ユーザーが2nmまでズームインして複雑な機能をプロファイルできるアダプティブイルミネーションを採用していますが、EasySight機能はオペレータの疲労を軽減し、一貫した結果を保証します。このユニットには、ユーザーが測定領域を視覚化するための比較および統計分析ツールの完全なスイートが組み込まれており、1つ以上の関心のある領域から差異、分散、およびその他の統計データを自動的に計算することができます。画像処理能力に関しては、ICOS WL-1500は従来の走査型電子顕微鏡(SEM)オプションを提供しており、デジタル顕微鏡を最大限に活用して高精度な測定を行うことができます。また、光子放出顕微鏡(PE)などの高度なイメージング技術を駆使して、紫外線リソグラフィ(UV)構造の偏りのない特性を提供しています。イメージングと分析ツールの強力なセットを提供することに加えて、WL-1500はまた、高度な欠陥レビューやカウント機能を含む自動ルーチンの広範なセットを提供しています。この自動化により、超微細構造の評価において一貫したレベルの精度と信頼性が確保され、プレミアム欠陥解析の詳細なレポートを迅速に生成できます。このマシンの焦点は、増加するマスクおよびウェーハ業界のニーズに対応するために必要なパワーとパフォーマンスを備えたスケーラブルなソリューションを提供するのに役立ちます。人間工学に基づいた設計、簡単なインストール、高速で堅牢な操作、および特定のアプリケーション要件を満たすためにツールをアップグレードするためのさまざまなオプションを備えています。
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