中古 ICOS WI-2000 #9215635 を販売中
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ICOS WI-2000は、マスクおよびウェーハ検査のための自動化装置です。最先端のイメージングオプティクス、精密なモーションコントロール、高度な照明技術を使用して、最も要求の厳しい生産環境で最適な性能を発揮します。システムは、独自の200mmアクティブなフィールドアライメントステージで構成されています。これにより、検査中のマスクやウェーハを迅速かつ正確に整列させることができます。また、高速検査のためにステージを上下に移動させることができ、最適なイメージング条件を得ることができます。WI-2000は、UVと可視の2種類の照明システムを備えています。どちらの照明システムも、さまざまなウェーハおよびマスク表面構造を検査するための優れた性能を提供します。UV光源は、パターンやレイアウトの変化を検出するための高コントラスト照明を提供します。可視光源により、不透明な基板を検査する際の検出感度が向上します。ICOS WI-2000のイメージングオプティクスとモーションコントロール技術は、ナノメートルレベルまでのマスクの特徴を調べるためのナノメートル分解能を提供します。このユニットは、非接触、高解像度（最大2 μ mピクセルピッチ）イメージングにより、表面パターンと欠陥情報を正確にキャプチャします。この高度なイメージング技術により、最大3つのウェーハのイメージングも同時に可能になり、データ取得は従来の検査システムの最大20倍の高速化を実現します。WI-2000は、サンプルの完全性を向上させ、アライメント時のサンプル摩耗を低減するために、+/-10mmの範囲が可能な高精度の電動Z軸を備えています。ユーザーは、高解像度と低解像度の2つの解像度から選択できます。ICOS WI-2000は、低解像度イメージングモードにより、精度を犠牲にすることなく、複雑なレイアウトでウェーハやマスクを高速で検査できます。WI-2000は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを搭載した自動化されたマシンで、操作が簡単でさまざまな検査目標に対応できます。さらに、このツールは複数のインターフェイスと検査モードをサポートしているため、ユーザーは特定の検査要件に合わせてアセットを調整できます。ICOS WI-2000は、マスクやウェーハの精密検査に最適なモデルです。2つの照明システムで高解像度の画像を素早くキャプチャすることができ、精密な電動Z軸が使用できます。これらの機能により、WI-2000は任意の検査タスクの特定の要件を満たし、最適な結果を提供するためにカスタマイズ可能です。
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