中古 HSEB AXIOSPECT 300 #9202569 を販売中

HSEB AXIOSPECT 300は、半導体業界のウェハーマスクの検査において、高精度かつ効率的に設計された高速、マスクおよびウェハ検査装置です。包括的なオーバーレイおよび臨界寸法（CD）測定サービスを提供し、検査精度と1nmの再現性を提供します。最大300mmまでの基板サイズで、高い生産スループットをサポートします。このシステムには強力なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が装備されており、ユーザーコントロール、ヒント、標準測定などのユニット操作に簡単にアクセスできます。AXIOSPECT 300はナノメートル（nm）の解像度の範囲で正確な測定を提供するように設計されている高度な光学機械が装備されています。ユニークなデュアルチャネル光学設計を使用して、イメージングモードと非イメージングモードの両方でウェハーマスクの画像を取得します。これにより、定量的特徴と非定量的特徴の両方を評価するのに理想的です。このツールには、自動焦点アセットが装備されており、モデルの焦点を自動的に調整し、高解像度のイメージングを保証します。また、高速ウェーハ追跡装置を搭載しており、ウェーハ情報を迅速かつ便利に検出して記憶することができます。このシステムには、さまざまなマスク層からパターンを認識するための自動パターン認識機能や、マスクアライメントの不一致をすばやく特定するための自動データ解析など、生産時間を合理化する機能が含まれています。HSEB AXIOSPECT 300には、スタック層解析、欠陥解析、ピクチャーオーバーレイ、マルチスペクトルイメージング解析などの自動調整機能を備えた統合デジタルインスペクタツールがあります。これにより、オペレータはマスクアライメントの異常を即座に診断してトラブルシューティングすることができます。品質保証のために、ユニットは、結果の精度と再現性についてのリアルタイムのレポートを生成することができ、強力なSPC監視機能を持っています。データは、他のソフトウェアツールと簡単に統合するために、さまざまなファイル形式でエクスポートすることもできます。これらの品質保証機能だけでなく、マシンには、最終レポートを表示するための強力で使いやすい編集とグラフとグラフ生成機能が装備されています。要約すると、AXIOSPECT 300は正確で反復可能な結果を提供するように設計された高度な検査ツールです。それは生産プロセスを合理化し、品質保証の最高レベルを保障するのを助ける最先端の技術的特徴が装備されています。