中古 HORIBA PR-PD2 #293751087 を販売中

HORIBA PR-PD2は、スループット、精度、トレーサビリティを向上させるために設計された高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。直感的なユーザーインターフェイスと組み合わせて、優れた画質と欠陥検出機能を提供します。新開発の走査型電子ビーム（SEM）技術を採用し、± 3％の均一性で光から暗闇までのウエハをスキャンすることが可能です。3。2 GHzのスキャン速度により、最大1000ウェハ/時間のスキャンが可能で、検査時間を短縮してスループットを向上させます。自動化された欠陥解析には、欠陥を正確に認識し、問題を特定する高度なアルゴリズムを使用します。X線による自動チップ認識機能を搭載しており、ウェーハ背面の汚染を検出するだけでなく、プロセス歩留まり解析も可能です。「パターンセンスウィンドウ比較」機能を使用すると、同じパターンのデータを分析できます。例えば、異なる場所での同じサイズと向きです。これにより、現場でのパフォーマンスが向上します。このツールには、散乱測定解析をガイドして表面の不規則性やその他の欠陥を特定する3D-profiling機能が装備されています。酸化物と窒化物の自動反射モードは、複雑な薄膜層の評価をサポートします。包括的なソフトウェアパッケージは、欠陥分類、分類、検査管理、データマイニングなど、さまざまなタスクを簡単に完了するために必要なすべての機能を提供します。このソフトウェアは、4ビットのデータ構造の包括的な分析を提供するように特別に設計されており、異なるソースからの画像の比較を可能にします。HORIBA PR-PD 2は、ユニークな機能を備えており、デバイスマスクの検査やさまざまなアプリケーションの欠陥の検出に必要な機能をメーカーに提供します。ウェーハの自動検査に最適なツールで、製造メーカーの効率を最大限に高め、コストを削減します。