中古 HORIBA PD2-HR #9399895 を販売中

HORIBA PD2-HRは、フォトリソグラフィープロセスを通じて製造された半導体デバイスを分析および検査するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。従来の光学技術や他の電子イメージングシステムでは検出できない欠陥を検査するために特別に開発されました。このシステムは、真空チャンバ、制御コンソール、ハードウェア、ステージ、スキャナーなどのコンポーネントで構成されています。真空チャンバはハードウェアコンポーネントを収容し、コントロールコンソールは検査パラメータを入力してプロセスを開始するために使用されます。ステージは半導体ウェーハを収容し、ユーザー定義の検査プロセスに従ってウェーハを移動するために使用されます。最後に、スキャナーは電子銃と光学系で構成され、ウェーハ表面に電子ビームを集中させます。電子ビームは、スキャンとイメージングの2つのモードで動作します。スキャンモードでは、ビームがウェーハ全体にラスターされ、粒子サイズ、形状、深さ、位置などの表面形態に関連するデータを収集します。イメージングモードでは、偏向コイルを使用してビームを傾け、ウェーハの高解像度画像を撮影します。PD2-HRは超高分解能の電子顕微鏡を使用して、重要な欠陥を検出できるようにします。顕微鏡分解能は従来の電子顕微鏡よりも3倍高く、高度な半導体技術（20nmノード、シンナー）の欠陥を迅速かつ正確に検出することができます。さらに、自動化されたコンピュータ支援欠陥レビューユニットにより、潜在的な欠陥を簡単に表示およびスコア化できます。また、高度なデータ分析機能と、画像やデータを保存および保存する機能も備えています。また、さまざまな種類の粒子汚染、傷、腐食、壊れた回路線、メモリ位置などの潜在的な欠陥タイプを識別および分類するための高度な検査アルゴリズムも備えています。結論として、HORIBA PD2-HRは、高度な半導体デバイスの微細な欠陥を検出することができる強力なマスクおよびウェハ検査ツールです。高解像度の電子顕微鏡と自動化されたコンピュータ支援欠陥レビュー資産、高度なデータ分析機能、および画像とデータを簡単に保存および保存する機能を備えています。幅広いウエハ検査プロセスに最適なツールです。