中古 HMI eScan 315 #9227591 を販売中

HMI eScan 315は、マスクおよびウェーハパターンの包括的な視覚および寸法レビューをユーザーに提供する高度な技術を備えたマスクおよびウェーハ検査装置です。EScan 315は、プログラマブルLEDアレイをベースに、自動化されたアライメントステージ、固定マスクステージ、スキャンステージ、および高輝度の照明システムを備えています。正確な測定と効率的な欠陥レビューを提供するために、幅広い機能を備えています。自動化されたアライメントステージでは、圧電モーションと画像登録を使用して、視野におけるマスクまたはウェーハの重要なオールオーバーアライメントを実現します。高解像度CMOSイメージセンサにより、最大26メガピクセルの解像度で鮮明な画像データを提供します。固定マスクステージには専用のモーターマスク翻訳ユニットが装備されており、複数のマスキング操作を正確に管理できます。高精度の自動画像ステッチ機能を使用して、より高いレベルの欠陥の特徴寸法と形状を迅速に検査できます。スキャンステージには、真の3次元検査能力のための優れたX-Y変換と可変速度回転を提供する高度なステージが装備されています。マスクまたはウエハフィーチャーの寸法と形状に比類のないX-Yおよび角度分解能の正確なプラットフォームを提供します。高輝度照明機は、単一または複数の波長の光を生成するように設計されており、幅広い検査モードを可能にします。プログラマブルLEDアレイ照明とスペクトル出力密度を備え、可能な限り最高の検査結果を得ることができます。HMI eScan 315の機能セットは、基礎構造を明らかにし、迅速な欠陥レビューのために正確に測定できるように設計された多数の分析ツールでさらに拡張されています。ツールには、RAREイメージシャープニング、偽色マッピング、コントラスト改善、エッジ/ライン解析が含まれます。全体的にeScan 315は、自動化されたマスクおよびウェーハ検査のための最先端のツールです。自動アライメント、スキャン、照明、分析のための高度な技術と機能を備えており、ユーザーに高精度の欠陥識別を達成する能力を提供します。