中古 HMI eScan 315 #9204651 を販売中

ID: 9204651
E-Beam inspection system (2) TDK TAS300 E4 Load ports BROOKS AUTOMATION ABM407B-1-S-CE-S293 Robot BROOKS AUTOMATION PRE-300BU-I-CE-S2 Pre-aligner BROOKS AUTOMATION SC81-CE Controller HMI System controller.
HMI eScan 315は、HMIによって製造された自動ウェーハおよびマスク検査装置で、パターン化されたウェーハおよびフォトマスク検査プロセスの費用対効果の高いソリューション向けに設計されています。独自のPAT-FINDERイメージプロセッサを搭載したこのシステムは、3チャンネルのカラーCCDカメラを使用して、スキャンごとに最大143個のウェーハまたはマスクから正確に画像をキャプチャします。これにより、迅速かつ正確な欠陥検査が可能になり、生産技術が一貫して信頼性と収益性が確保されます。EScan 315には、高速カラーCCDカメラとX、 Y、 Zモーションステージが搭載されており、広範囲にわたって製品の信頼性の高いイメージングを保証します。まず色CCD技術を用いてウェーハをスキャンし、画像を加工して詳細なパターン検査と比較を行います。PAT-FINDERイメージプロセッサは、明るいフィールドと暗いフィールドの両方の照明を使用して感度を最大化し、自動エッジ検出アルゴリズムはパターン比較と定量化のための均一なベースラインを提供します。HMI eScan 315を使用すると、欠陥のしきい値を調整したり、検出する欠陥タイプを選択したり、イメージスキャンをレビューして欠陥の原因を正確に特定できます。このユニットはまた、ユーザー定義のスカウト機能を備えており、検査プロセスを制御するレベルが追加されています。スカウト機能により、ユーザーはさまざまな製品の欠陥を簡単かつ迅速に検査できます。EScan 315は、業界標準の安全機能とモジュラーエンジニアリング設計により、ユーザーに最大限の柔軟性とメンテナンスの容易さを提供します。モジュラーメンテナンスにより、メインコンポーネントへの迅速で簡単なアクセスが可能になり、ダウンタイムを削減し、コストを節約できます。HMI eScan 315は、多軸スキャンや補間モーションコントロールなどの高度なモーションコントロール機能も備えています。EScan 315は、ウェーハおよびマスク検査プロセスのための費用対効果の高い機器であり、正確な欠陥検出と欠陥修復を提供します。堅牢な技術、高度なモーションコントロール機能、モジュラーエンジニアリング設計により、HMI eScan 315はあらゆる業界や研究機関に最適です。このマシンは、マイナーなメンテナンスと最小限のダウンタイムで信頼性と再現性の高いスキャンを提供し、最終的には生産効率の向上と生産コストの削減につながります。
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