中古 HMI eScan 300 #9200269 を販売中

HMI eScan 300は、300mmウェーハまでの様々なサイズの画像を測定するために使用されるマスクおよびウェーハ検査装置です。それは不透明で透明なマスクのイメージの低い対照の特徴を検出する機能と結合されるすばらしい対照そしてacuityを提供します。高度なレーザー光学ユニットを使用し、50nm〜0。1mmの解像度で高解像度の画像を取得します。スキャンからデータを迅速かつ正確に処理する強力なコンピューティングプラットフォームとソフトウェアによって支えられています。EScan 300は、16bits光学画像検出器と、個別に設定可能な電力および信号強度設定を備えたデュアルバンド256nm短波長および長波長レーザー照明機を組み合わせています。これにより、高品質の画像を作成しながら、スキャン速度と精度を向上させることができます。これは、より小さな欠陥を検出し、信号対ノイズ比を向上させるために不可欠な9umレーザースポットサイズを提供します。さらに、調整可能な焦点距離とズーム機能により、ネイティブ解像度の40倍のサイズの画像を提供できます。画像を測定するために、HMI eScan 300は、サンプルの分類と検証を容易にするように設計されたツールのセットを使用します。これらには、エッジ検出、膜厚測定、欠陥検出が含まれます。エッジ検出ツールは、均一でない領域を識別し、アクティブなレイヤーエッジ、溶接フィーチャー境界、および傷を正確に識別できます。膜厚測定ツールは、酸性マスク、メッキ層、金属層の厚さを測定します。最後に、欠陥検出ツールは、空隙の検出を可能にします、粒子の蓄積、ピン。EScan 300は、ツールチップ、色分けされたマーカー、地域選択などの機能を備えた直感的なユーザーインターフェイスも提供します。このユーザーインターフェイスは、マスクインスペクターが経験する作業を簡素化および強化するのに役立ちます。このツールには、最大4つのマスクとウェーハイメージを同時に検査できる産業グレードの環境も含まれています。これにより、効率的なワークフローと生産性が可能になります。最後に、HMI eScan 300は、マスクとウェーハ検査のための革新的で費用対効果の高いツールです。修正された集積回路の製造に伴う精度の向上とコストの削減、診断および品質保証プロセスの強化に役立ちます。強力なハードウェアとソフトウェア機能を備えたeScan 300は、半導体業界のあらゆる検査ニーズに最適です。